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収束研磨:高品質の光学フラット&球のシンプル、迅速、全開口研磨プロセス

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13:07 min

December 1st, 2014

DOI :

10.3791/51965-v

December 1st, 2014


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94 HF

この動画の章

0:05

Title

2:21

Preparation of the Polisher and Slurry

6:20

Preparation of the Workpiece

8:29

Convergent Polishing

10:22

Metrology and Inspection

11:04

Results: A Convergent Polishing Protocol Produced Square with Peak-to-Valley Flatness of ~330 nm

12:07

Conclusion

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