ソース: 博士アンドリュー j. Steckl の研究室-シンシナティ大学

走査型電子顕微鏡や SEM は電子を使用してイメージを形成する強力な顕微鏡です。従来の顕微鏡では得られない倍率で導電性試料のイメージングが可能です。~ 1 の倍率を達成できるモダンな光顕微鏡 000 X、典型的な SEM は 30 以上の倍率に達することができる、000 X。SEM は、イメージを作成する光を使用しない、ために形成結果の写真は、黒と白です。

導電性のサンプルは、SEM の試料ステージ上に読み込まれます。試料室真空に達すると、ユーザーは適切な場所にシステムの電子銃に合わせて進めます。電子銃は、レンズと絞りの組み合わせを通過し、最終的にサンプルを打つ高エネルギー電子のビームを撃ちます。電子銃は、サンプルの正確な位置に電子を撮影し続けており、二次電子はサンプルの跳ねを。これらの二次電子の探知器によって識別されます。二次電子から発見された信号は増幅、3 D イメージの作成、モニターに送られます。このビデオは、SEM サンプル準備、操作、および画像処理機能を説明します。

1. サンプルの準備

1. サンプル スタブに場所のサンプルです。必要に応じて、接着ボンドのスタブをサンプルにカーボン テープが使えます。
2. スパッタ装置金にサンプルを配置します。Mini-gold スパッタを用いたスパッタ 30 のための金で s 〜 70 mTorr 圧力。別金層の厚さのサンプルのジオメトリに応じて必要があります。ラフや多孔質の表面には、もはやスパッタ時間が必要です。
3. スパッタ装置金からスタブを削除します。

2. サンプル挿入と SEM スタートアップ

1. ベント、SEM の商工会議所、わずかな圧力に到達する商工会議所を許可します。
2. SEM 試料室を開き、試料ステージを取る。
3. ステージ上にサンプルを含むサンプル スタブを挿入します。所定の位置にスタブを締めます。
4. Z 距離は、ソフトウェアによって制御することはできない場合、は、サンプル スタブを用いた試料ステージにはより良い画像を得るための適切な高さを確認します。<

図 2 aで見られる SEM は、測定を行うとサンプル写真を取得使用されています。このサンプルは、塩化ナトリウム (NaCl) 塩から成っていた。数ナノメートルの金は上に導電性を蒸着し、図 2 bに見られるように、スタブに置かれました。導電性のサンプルは、図 2 cに示すよう、SEM サンプル領域に配置だった。

50 X、200 X、500 X 1、000 X 5,000...

SEM は、導電性、導電性コーティングで処理されているものをイメージする能力のためほとんどの研究機関に共通する非常に強力なツールです。SEM は、半導体デバイス、昆虫、他の間で⁴ 、^{3 2}生体膜などのオブジェクトを画像に使用されています。SEM をナノファイバーと紙ベースの材料、生体材料、マイクロパターニングゲル構造分析にも使いました。もちろん、液?...

1. Goldstein, J., Newbury, D., Joy, D., Lyman, C., Echlin, P., Lifshin, E., Sawyer, L., Michael, J. Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis. 3^rd Ed. Springer, New York, NY. (2003).
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