扫描电子显微镜 (SEM)

1.样品的制备

1. 地方样品到样品存根 （stub）。如有必要，碳磁带可能用于粘合剂粘接样品到存根 （stub）。
2. 将样品放入黄金溅射系统。使用淘金热的小规模溅射，溅射金子为 30 米/秒 ~ 70 mTorr 压力。不同的金层厚度可能有必要根据样品的几何。更粗糙或多孔表面需要再溅射时间。
3. 从黄金溅射系统删除存根 （stub）。

2.样品插入和扫描电镜启动

1. 发泄在扫描电镜室，允许会议厅，以达到额定压力。
2. 打开扫描电镜的样品室，拿出样品阶段。
3. 插入示例存根 （stub） 包含样本上了舞台。拧紧到位的存根 （stub）。
4. 如果 z 距离不能控制的软件，请确保样品阶段与示例存根 （stub） 具有适当的高度，以获得更好的形象。
5. 放入样品室样品阶段。关闭样品室。
6. 打开泵，使系统能够达到真空。这完成时，系统将通知用户。
7. 打开扫描电镜软件。选择所需操作电压从 1 — — 30 千伏。高工作电压给出更好的图像对比度，但可以产生较低的分辨率，如果样品中积累了收费。

3.捕获扫描电镜图像

1. 在扫描电镜软件开始 ' 自动对焦，通过点击的钥匙图标。这将会获得样品要用作起始点的重点的的形象。
2. 请确保缩放比例设置为 50 X 最小缩放级别。
3. 选择快速扫描模式。
4. 调整粗模式关注的焦点，直到获得一个粗糙的焦点。
5. 调整阶段手动使用外部旋钮，使该地区的利益是可见在显示器上。
6. 增加放大倍数，直到观察到所需的功能。调整的粗的聚焦旋钮，大致集中在此放大图像。然后，改善使用精细的聚焦旋钮要聚焦的图像所需的放大级别的重点。每增加放大级别，将重复此步骤。
7. 一旦达到所需的缩放比例，调整好的聚焦旋钮来提高清晰度。
8. 若要优化图像的清晰度，提高放大倍数接近最高的水平，然后集中使用细焦点旋钮的形象。如果不能获得清晰的图像，调整 stigmation 的 x 和 y 方向。保持调整的重点和 stigmations，直到夸张的放大级别获得的最清晰的图像。
9. 到达后样品的质量形象，追溯到所需的缩放级别。图像可以采取按照片按钮 '慢照片' 或 '快速照片' 模式。更好的质量和高分辨率的图像，给出了 '慢照片' 模式。

4.制作用扫描电镜软件测量

1. 在面板下拉列表中，选择 M.工具。
2. 直接扫描电镜软件测量各种测量长度，面积，角度等。要执行这些测量之一，请单击 M.工具窗口中的所需图标。
3. 滚动到上的扫描电镜图像的测量站点。测量是通过点击图像以创建将由软件分析的参考点。测量数据点可以直接插入图像，如果用户所需。
4. 图像然后保存到计算机。