SDJ은 감사에서 자신의 파트에 대한 공학 교육 / 연구실 박사후 원정대 프로그램, 물질의 자기 적 성질에 콘라드 Bussmann에 (NRL) 및 Mingzhong 우 (콜로라도 주립 대학)과의 토론, 론 홀름 (NRL)의 미국 협회의 지원을 인정 설계 및 NRL AD 시스템의 구현.

1. 파우더 준비 <ol><li> 덩어리의 100~150g 미만 53 μm의 크기를 얻기 위해-받은 이트륨 철 가넷 (YIG) 분말을 체. </li><li> 온도보다 300 ℃에서 최소 24 시간 동안 건조로에 체질 분말을 놓습니다. </li></ol> 2. 기판 준비 <ol><li> 원하는 크기의 기판, 다음 이소프로판올, 아세톤을 사용하여 예를 들어, 3mm X 3mm를 청소합니다. 질소 가스를 이용한 드라이. </li></ol> 3. 에어로졸 증착을 수행 <ol><li> 번역 설치 단계에 샘플을 탑재합니다. <ol><li> 설치 단계로 양면 구리 테이프를 놓습니다. 구리 테이프에 청소 기판을 놓습니다. </li><li> 샘플의 각각의 모서리에 장착 스테이지의 가장자리로부터의 거리를 측정한다. 샘플 역사 시트의 치수 및 샘플의 위치를​​ 기록합니다. </li><li> 설치 단계는 번역 모토의 몸과 평행하게 정렬되어 있는지 확인캘리퍼와 모터 본체의 가장자리에 탑재 스테이지의 가장자리로부터의 거리를 측정하여, R. 증착 챔버에 샘플을로드합니다. </li><li> 증착 챔버를 밀봉하는 플랜지를 조인다. 번역 모터 3 15 핀 D-SUB 컨트롤러 케이블을 연결합니다. </li></ol></li><li> 가루를 넣고 에어로졸 챔버를 닫습니다. <ol><li> 로에서 건조 된 분말을 제거하고 에어로졸 챔버의 바닥 부분에 배치합니다. 필터 드 막힘로드 상에 필터 드 막힘로드 첨부 파일을 밀어 넣습니다. </li><li> 에어로졸 챔버의 바닥 부분에 에어로졸 챔버의 본체를 놓습니다. 본체가 바닥 부분에 부착됨에 따라, 필터 막힘 해제로드가 부착 된 교반 판에 휴식을 허용. </li><li> 바닥 부분에 본체를 클램프. 에어로졸 챔버 본체에 측 포트 에어로졸 챔버 압력계를 부착. </li><li> 본체 O 상위 포트에 노즐 입구 부를 클램프QF 클램프를 사용하여 에어로졸 챔버 F. 증착 챔버에 유입 포트로 노즐 입구 튜브를 올리고 상부 및 하부 고정 피팅. </li><li> 샘플 역사의 장에 분말 및 에어로졸 챔버 식별 번호를 기록합니다. </li></ol></li><li> 이 시스템의 나머지로부터 격리 러핑 펌프를 켜고. 증착 챔버 조명 램프를 켭니다. 전체 시스템의 펌프 다운을 시작하는 바이 패스 라인에 수축 밸브를 연다. </li><li> 설치 증착 실행 식별과 압력 모니터링 소프트웨어. </li><li> 명령 행 터미널 창에서 &#39;pitrans&#39;을 입력하여 스테이지 컨트롤러 매크로 작성자를 실행하고 필요한 정보를 입력합니다. 실행 로그 스프레드 시트에 새 시트를 만들고 증착 변수 및 설정 노트를 기록합니다. </li><li> 시스템 압력은 150-200 토르 대해 도달하면, 제한되지 않은 약간의 밸브를 개방. 약 1 토르 / sec의 펌프 다운 속도를 유지한다. 일 회E 압력은 압력 모니터링 소프트웨어와 변환 스테이지 모터 컨트롤러 소프트웨어를 시작 (100) 토르 미만 떨어졌다. </li><li> 시스템 압력에 도달하면 약 1 토르는 바이 패스 라인에 세 개의 밸브를 닫고 메인 펌프 밸브를 엽니 다. 증착 챔버의 상부 캡에 클램프를 조입니다. </li><li> 송풍기 펌프의 전원을 켭니다. 초 고순도 (UHP) 질소 가스 실린더를 엽니 다. 압력을 모니터하고 시스템의 기본 압력을 기록한다 (이는 전형적으로 15 내지 25 mTorr 이하에 도달). </li><li> 노즐과 기판 사이의 거리를 설정한다. 상기 노즐을 통해 기판을 이동 탑재하는 스테이지 제어기 소프트웨어 그래픽 사용자 인터페이스 윈도우를 사용한다. 그것은 연락처 노즐까지 기판을 낮 춥니 다. 이 위치에서 수직 방향으로 7.5 mm 기판을 이동. </li><li> 메인 펌핑 라인을 닫고 압력 모니터링 시스템 소프트웨어에서의 누설 율을 감시한다. 밸브를 차단시 초기 누설 률을합니다. 이 LEA 경우K 비율은 달리 누출 검사 시작 미만 3.33 mTorr로 / sec의 계속이다. 전형적인 누설 률은 1.2 미만 mTorr로 / 초이다. </li><li> 500 토르 사전 설정 값으로 증착 챔버 버터 플​​라이 밸브를 설정합니다. / 분 (전원을 켜십시오하지 않음) 13.63 (L)에 질량 유량 제어기의 값을 설정합니다. </li><li> 증착 시작 위치로 장착 스테이지를 이동. 컨트롤러 소프트웨어로 단계 3.7에서 만든 매크로를로드합니다. </li><li> 선형 초 10 매 Hz에서 135 사이 (145)를 청소하는 함수 발생기를 프로그램. 에 함수 발생기를 켭니다. 에 질소 가스의 흐름을 돌립니다. 3 초 카운트 다운 후 단계 컨트롤러 매크로를 시작합니다. </li><li> 증착을 모니터하고 500 ± 0.5 토르에서 압력 차를 유지하기 위해 필요한 가스 유량을 조정 (또는 실행을 위해 필요에 따라) 증착 동안. 주 : 상기 증착 챔버 내의 압력은 전형적으로 0.65 토르이고, 상기 증착 챔버 내의 압력은 일반적으로 501 토르이다. 제어 할 수없는 변화압력 보통 UHP 질소가 고갈되는 것을 나타냅니다. 실행의 기간에 걸쳐 압력에 약간의 드롭 (1-2 토르)의 전형이다. 이는 가스 유량을 증가시킴으로써 해결 될 수있다. 초기 표시가 필름 기판 상에 형성해야 통과하는 동안, 성막 부족 분말 및 / 또는 상당한 필터 막힘 불충분 에어로졸을 시사한다. </li><li> 증착의 마지막 정확한 증착 런타임 참고. 질소 가스, 함수 발생기, 및 펌프를 차단. 완전히 증착 챔버 버터 플​​라이 밸브를 엽니 다. </li><li> 증착 챔버의 측에 위치 바이 패스 밸브를 연다. 제로 하우스 질소 가스 레귤레이터를 켜고 증착 챔버로 리디렉션. 천천히 온실 가스 레귤레이터의 압력을 증가하는 동안 메인 펌프 밸브를 닫습니다. </li><li> 홈은 X = 25mm, Y = 25mm, 및 Z = 25 mm의 노즐은 다음 스테이지 컨트롤러 소프트웨어를 닫는다. </li><li> 시스템에서의 압력이 상승하면이상은 100 Torr의 압력 모니터링 소프트웨어를 중지. 증착을 완료하는 데 사용 시간이 총 질소 가스를 기록합니다. 시스템이 도달 할 때까지 대기 집 가스 압력이 필요한 조정. </li><li> 3 15 핀 D-SUB 단계 컨트롤러 케이블을 분리하고 상단 캡을 언 클램프. 증착 챔버의 상부 캡을 제거하고 샘플을 마운트 해제합니다. </li></ol> 4. 사후 증착 검사 <ol><li> 설치 단계에서 샘플을 제거하고 현미경으로 검사합니다. 필요한 경우, 루즈 파우더를 제거하는 이소프로판올에 샘플을 씻는다. 영화의 계획 특성 분석을 수행합니다. </li></ol>

<ol>
	<li>Akedo, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Room+Temperature+Impact+Consolidation+(RTIC)+of+Fine+Ceramic+Powder+by+Aerosol+Deposition+Method+and+Applications+to+Microdevices.">Room Temperature Impact Consolidation (RTIC) of Fine Ceramic Powder by Aerosol Deposition Method and Applications to Microdevices.</a> J. of Therm. Spray tech. 17, 181 (2008).</li><li>Hahn, B. D., Park, D. -. S., Choi, J. -. J., Ryu, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Osteoconductive+hydroxyapatite+coated+PEEK+for+spinal+fusion+surgery.">Osteoconductive hydroxyapatite coated PEEK for spinal fusion surgery.</a> Appl. Surf. Sci. 283, 6-11 (2013).</li><li>Johnson, S. D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Aerosol+Deposition+of+Yttrium+Iron+Garnet+for+Fabrication+of+Ferrite-Integrated+On-Chip+Inductors.">Aerosol Deposition of Yttrium Iron Garnet for Fabrication of Ferrite-Integrated On-Chip Inductors.</a> IEEE Trans. on Magnetics. 51 (05), (2015).</li><li>Johnson, S. D., Kub, F. J., Eddy, C. R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=ZnS/Diamond+Composite+Coatings+for+Infrared+Transmission+Applications+Formed+by+the+Aerosol+Deposition+Method.">ZnS/Diamond Composite Coatings for Infrared Transmission Applications Formed by the Aerosol Deposition Method.</a> Proceedings of SPIE. 8708, 87080T-87081T (2013).</li><li>Han, G., Ryu, J., Yoon, W. -. H., Choi, J. -. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Effect+of+electrode+and+substrate+on+the+fatigue+behavior+of+PZT+thick.">Effect of electrode and substrate on the fatigue behavior of PZT thick.</a> Ceram. Int. 38 (1), S241-S244 (2012).</li><li>Ryu, J., Baek, C. -. W., Lee, Y. -. S., Oh, N. -. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Enhancement+of+Multiferroic+Properties+in+BiFeO3-Ba(Cu1/3Nb2/3)O-3.">Enhancement of Multiferroic Properties in BiFeO3-Ba(Cu1/3Nb2/3)O-3.</a> Film. J. Am. Ceram. Soc. 94 (2), 355-358 (2011).</li><li>Park, C. -. S., Ryu, J., Choi, J. -. J., Park, D. -. S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Giant+Magnetoelectric+Coefficient+in+3-2+Nanocomposite+Thick+Films.">Giant Magnetoelectric Coefficient in 3-2 Nanocomposite Thick Films.</a> Jpn. J. Appl. Phys. 48 (8), 1 (2009).</li><li>Ryu, J., Park, D. -. S., Schmidt, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=In-plane+impedance+spectroscopy+in+aerosol+deposited+NiMn2O4+negative.">In-plane impedance spectroscopy in aerosol deposited NiMn2O4 negative.</a> J. Appl. Phys. 109 (11), 112722 (2011).</li><li>Yoon, W. -. H., Ryu, J., Choi, J. -. J., Hahn, B. -. D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Enhanced+Thermoelectric+Properties+of+Textured+Ca3Co4O9+Thick+Film+by+Aerosol+Deposition.">Enhanced Thermoelectric Properties of Textured Ca3Co4O9 Thick Film by Aerosol Deposition.</a> J. Am. Ceram. Soc. 93 (8), 2125-2127 (2010).</li><li>Ryu, J., Kim, K. -. Y., Choi, J. -. J., Hahn, B. -. D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Flexible+Dielectric+Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7+Thin+Films+on+a+Cu-Polyimide+Foil.">Flexible Dielectric Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7 Thin Films on a Cu-Polyimide Foil.</a> J. Am. Ceram. Soc. 92 (2), 524-527 (2009).</li><li>Hahn, B. -. D., Lee, J. -. M., Park, D. -. S., Choi, J. -. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Mechanical+and+in+vitro+biological+performances+of+hydroxyapatite-carbon.">Mechanical and in vitro biological performances of hydroxyapatite-carbon.</a> Acta Biomater. 8 (8), 3205-3214 (2009).</li><li>Choi, J. -. J., Cho, K. -. S., Choi, J. -. H., Ryu, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Effects+of+annealing+temperature+on+solid+oxide+fuel+cells+containing+(La,Sr)+(Ga,Mg,Co)O3-&#948;+electrolyte+prepared+by+aerosol+deposition.">Effects of annealing temperature on solid oxide fuel cells containing (La,Sr) (Ga,Mg,Co)O3-&#948; electrolyte prepared by aerosol deposition.</a> Mater. Lett. 70, 44-47 (2012).</li><li>Ryu, J., Hahn, B. -. D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Porous+Photocatalytic+TiO2+Thin+Films+by+Aerosol+Deposition.">Porous Photocatalytic TiO2 Thin Films by Aerosol Deposition.</a> J. Am. Ceram. Soc. 93 (1), 55-58 (2010).</li><li>Harris, V. G., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Recent+advances+in+processing+and+applications+of+microwave+ferrites.">Recent advances in processing and applications of microwave ferrites.</a> J. of Magn. and Magn. Mat. 321, 2035 (2009).</li><li>Kang, Y. -. M., Ulyanov, A. N., Yoo, S. -. I. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=FMR+linewidths+of+YIG+films+fabricated+by+ex+situ+post-annealing+of+amorphous+films+deposited+by+rf+magnetron+sputtering.">FMR linewidths of YIG films fabricated by ex situ post-annealing of amorphous films deposited by rf magnetron sputtering.</a> Phys. Stat. Sol. (a). 204 (3), 763-767 (2007).</li><li>Popova, E., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Perpendicular+magnetic+anisotropy+in+ultrathin+yttrium+iron+garnet+films+prepared+by+pulsed+laser+deposition+technique).">Perpendicular magnetic anisotropy in ultrathin yttrium iron garnet films prepared by pulsed laser deposition technique).</a> J. of Vac. Sci. Techn. A. 19 (5), 2567-2570 (2001).</li><li>Sun, Y., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Growth+and+ferromagnetic+resonance+properties+of+nanometer-thick+yttrium.">Growth and ferromagnetic resonance properties of nanometer-thick yttrium.</a> Appl. Phys. Lett. 101 (15), 082405 (2012).</li><li>Kalarickal, S. S., Krivosik, P., Das, J., Kim, K. S., Patton, C. E. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Microwave+damping+in+polycrystalline+Fe-Ti-N+films:+Physical+mechanisms+and+correlations+with+composition+and+structure.">Microwave damping in polycrystalline Fe-Ti-N films: Physical mechanisms and correlations with composition and structure.</a> Phys. Rev. B. 77, 054427 (2008).</li><li>Johnson, S. D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Advances+in+Ferrite-Integrated+On-Chip+Inductors+Using+Aerosol+Deposition.">Advances in Ferrite-Integrated On-Chip Inductors Using Aerosol Deposition.</a> Magnetics Business &amp; Technology Magazine. 10, (2014).</li><li>Johnson, S. D., Glaser, E. R., Cheng, S. -. F., Kub, F., Eddy Jr, ., R, C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Characterization+of+As-Deposited+and+Sintered+Yttrium+Iron+Garnet+Thick+Films+Formed+by+Aerosol.">Characterization of As-Deposited and Sintered Yttrium Iron Garnet Thick Films Formed by Aerosol.</a> Appl. Phys. Express. 7, 035501 (2014).</li><li>Lee, D. -. W., Nam, S. -. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Factors+Affecting+Surface+Roughness+of+Al2O3+Films+Deposited+on+Cu+Substrates+by+an+Aerosol+Deposition+Method.">Factors Affecting Surface Roughness of Al2O3 Films Deposited on Cu Substrates by an Aerosol Deposition Method.</a> J. of Ceramic Proc. Research. 11, 100 (2010).</li><li>Glass, H. L., Elliott, M. T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Attainment+of+the+Intrinsic+FMR+Linewidth+in+Yttrium+Iron+Garnet+Films+Grown+by+Liquid+Phase+Epitaxy.J.">Attainment of the Intrinsic FMR Linewidth in Yttrium Iron Garnet Films Grown by Liquid Phase Epitaxy.J.</a> Cryst. Growth. 34, 285 (1976).</li></ol>

저자가 공개하는 게 없다.

그림 4의 SEM 이미지는 큰 골절과 치밀화가 증착 공정 중에 발생하는 것을 나타냅니다. 화상 보이드 입자의 소수를 도시 막의 상면 취해진 다. 도 1에 입자 (2)와 (3)에서 충격에 의해 도시 된 바와 같이 관찰 영역은 후속하는 입자의 추가 충격 치밀화 공정의 이점을 활용하지 못하고, 따라서 증착 될 물질의 마지막이며. 시료의 체적 내의 막 밀도 수 단면의 고배율 삽입과 <str...

에어로졸 증착 (AD)는 벌크 (1)의 95 %보다 큰 밀도를 갖는 두꺼운 수백 마이크로 미터까지의 층을 생산할 수 후막 증착 공정이다. 증착 프로세스는 충격 파괴 또는 변형, 부착, 및 입자의 고밀도화의 연속 프로세스를 통해 발생하는 것으로 생각된다. 한 여러 단계에 걸쳐 입자 충격 및 고밀도화를 도시하는 일련의 단계로서,이 프로세스를 보여주고있다. 도시 된 바와 같이, 입자 100-500 M / sec의 전형적인 속도로 기판을 향해 이동한다. 기판과 입자의 초기 충격 같이 이들은 골절 및 기판에 부착. 이 앵커 층은 기판과 벌크 막 사이의 기계적 접착 성을 제공한다. 이후의 영향이 발생하는 기본 입자에 부착, 점점 골절, 또한 고밀도 있습니다. 지속적인 영향, 골절, 및 치밀화의이 과정은 기본 필름을 압축하고 크리스탈 블랙 마노를 결합하기 위해 노력tallites는 벌크 물질의 95 % 이상에 도달하는 농도로 필름을 제조하고. <img alt="그림 1" src="/files/ftp_upload/52843/52843fig1.jpg" /> 증착 프로세스의도 1의 그림. 패널 100-500 M / sec의 전형적인 속도로 기판을 향해 이동 세 입자를 나타낸다. 패널 B는 제 입자 충격, 골절, 접착력의 결과를 나타낸다. 패널 C 및 D는 두 번째와 세 번째 입자의 후속하는 충격, 더욱 콤팩트하지 막 표시하고 결정자 접합. 결과는 (참고 19에서 허가를 재현) 벌크 재료의 95 % 이상의 밀도 영화이다. <a href="https://www.jove.com/files/ftp_upload/52843/52843fig1highres.jpg" target="_blank">이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.</a> AD의 주요한 장점은 depos이고ition 주변 실온에서 완전히 일어난다; 이에 의해 저 융점 발열 기판 상에 고 융점 재료의 온도 (출발 분말)에, 예를 들면, 막 성장을 가능하게한다. 증착 속도는 분당 수 ㎛까지 일 수 있고, 증착 챔버에서 1-20 토르의 온화한 진공 조건 하에서 수행된다. 프로세스는 매우 큰 증착 영역까지 확장하고 마지막으로, 컨 포멀하게 증착 할 수있는 능력을 나타낸다. (2) 인덕터 (3), 내마모성 코팅 (4), 압전체 5 multiferroics 6 magnetoelectrics 7 서미스터 8 열전 필름 9, 유연한 절연막 (10), 단단한 조직 임플란트 바이오 세라믹 등의 광범위한 용도에 대해 AD 의해 연구 많은 재료 시스템이있다 (11), 고체 전해질 (12) 및 광촉매 (13). 전자 장치에 응용 프로그램, severa의 자기 영화두께 마이크로 미터의 L 수백 이상적 회로 기판 요소에 직접 통합 될 것을 요구된다. 이러한 통합을 구현하는 한 가지 과제는 페라이트 필름 제조에 필요한 고온 체제 인 이트륨 철 가넷 (YIG)로서, (해리스 등. (14)에 의해 검토를 참조). 이 때문에 광고는 자기 집적 회로 기술에 잠재적 인 새로운 발전을 실현하기위한 자연스러운 선택이 될 것으로 보인다. 광고의 저비용 운영, 높은 증착 속도, 단순성은 미국에서 현재 독일, 프랑스,​​ 일본, 한국의 연구자에 의해 관심을 촉발하고있다. 도 2는 에어로졸 증착법을 수행하는 기본 설정을 요약 한 도면이다. 압력 P AC, DC P, P와 H는 각각 에어로졸 챔버, 증착 챔버 및 펌프 헤드에 대한 위치에 표시된 모니터링된다. 질량 유량 제어기 (MFC)에 의해 제어되는 가스 유동은, 에어로졸 입사챔버 및 분말을 aerosolizes. 증착 챔버는 사각형 (0.4 mm X 4.8 mm)의 노즐 구멍을 통해 입자의 유동을 일으키는 두 개의 챔버들 사이의 압력 차를 만들 펌핑된다. <img alt="그림 2" src="/files/ftp_upload/52843/52843fig2.jpg" /> 그림 NRL ADM 시스템 2. 주요 구성 요소. 압력 P AC, DC P 및 P (H)는 각각, 에어로졸 챔버, 증착 챔버 및 펌프 헤드의 위치에 표시 모니터링합니다. 자세한 내용은 텍스트를 참조하십시오. (저작권 (2014) 참조 (20)로부터 재생 응용 물리학의 일본 학회). <a href="https://www.jove.com/files/ftp_upload/52843/52843fig2highres.jpg" target="_blank">이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.</a> 이 작품의 개별 YIG 입자의 평균 크기는 0.5 μm의입니다. 응집 효과는 이러한 원인작은 입자들은 약 10 내지 약 400 μm의 ㎛, 크기가 다양 더 큰 응집체를 형성한다. 덩어리 크기 및 배달 속도의 제어는 조밀 잘 형성된 필름을 달성하는 데 필수적이다. 이는 증착 챔버 내로 사이즈 선택 및 균일 한 입자 플럭스 허용 에어로졸 챔버의 구성을 필요로한다. 분말은 에어로졸 챔버에로드되는 것보다 큰 53 μm의 이전에 어떤 덩어리를 제거하기 위해 사전 체질이다. 이 연구에서 사용 된 에어로졸 챔버 구성은도 3에 도시되어있다. 질소 가스가 챔버의 바닥면에 위치하는 네 개의 유입 노즐 (두 개는도 3에 도시 됨)을 통해 들어간다. 가스는 응집 입자의 분포로 이루어진 에어로졸 미만 53 ㎛의 크기를 생성하기 위해 (녹색으로 표시) YIG 분말과 상호 작용한다. 계속적으로 진동 스테인레스 강판으로 이루어지는 에어로졸 챔버의베이스에 교반기로 이동 분체 유지가스 흐름. 응집은 응집물이 노즐 입구를 입력 미만 45 ㎛의 크기를 수 45 ㎛의 필터를 영향. 노즐 응집체 입구 들어가면 큰 속도로 가속되고 증착을 수행하기 위해 (도시되지 않음)의 증착 챔버 내로 토출. 스테인레스 스틸 막대 드 필터 막힘을 돕기 위해 (도시되지 않음) 교반기의베이스에 필터의 하단을 연결한다. <img alt="그림 3" src="/files/ftp_upload/52843/52843fig3.jpg" /> 그림 필터, 입구 노즐, 그림과 YIG 분말 내부 에어로졸 챔버 구성 3. 그림. 자세한 내용은 텍스트를 참조하십시오. 이 보고서는 YIG의 조밀 한 필름을 생산하기 위해 위에서 설명한 맞춤형 시스템을 사용하여 광고를 수행 할 수있는 실험 방법에 대해 설명합니다. 이 시스템에서 생산 된 11 μm의 두께 필름 대표 결과 scannin를 사용되게됩니다g 전자 현미경 (SEM), 두께 프로파일 및 강자성 공명 (FMR). 제시된 결과는 자기 특성 또는 필름의 재료 구조에 대한 심층적 인 연구로 구성하지만,이 기술에 의해 생성 된 필름의 데모로.하지 않는 <a href="https://www.jove.com/files/ftp_upload/52843/52843fig3highres.jpg" target="_blank">이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.</a>

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">
	<tbody>
		<tr>
			<td>Ferromagnetic Resonance Spectrometer</td>
			<td>www.bruker.com/</td>
			<td>9.5 GHz Spectrometer</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Scanning Electron Microscope</td>
			<td>www.zeiss.com</td>
			<td>LEO Supra 55</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Profilometer</td>
			<td>www.kla-tencor.com/</td>
			<td>D-120</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Stereo Microscope</td>
			<td>www.microscopes.com</td>
			<td>Omano Stereo Microscope</td>
			<td>Used for inspection directly after removal from deposition chamber</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Double-sided Copper Tape</td>
			<td>www.2spi.com</td>
			<td>05085A-AB</td>
			<td>hold-down clips or other adhesives may be used</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Nitrile Exam Gloves</td>
			<td>www.fishersci.com</td>
			<td>19-130-1597D</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>2-propanol</td>
			<td>www.fishersci.com</td>
			<td>A451SK-4</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Acetone</td>
			<td>www.fishersci.com</td>
			<td>A11-1</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Yttrium Iron Garnet Powder</td>
			<td>www.trans-techinc.com/</td>
			<td>Call for Product Information</td>
			<td>Powder is custom made to order and ground to specifications</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Stainless Steel Spoon</td>
			<td>www.fishersci.com</td>
			<td>14-429E</td>
			<td>Used for scooping and transferring powder</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Alumina Boats</td>
			<td>www.coorstek.com/</td>
			<td>65580</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Drying Furnace</td>
			<td>www.paragonweb.com</td>
			<td>KM14 ceramic furnace</td>
			<td>Furnace is connected to air during drying</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Powder Sieves</td>
			<td>www.advantechmfg.com/</td>
			<td>270SS8F</td>
			<td>A selection of mesh openings are needed to sieve from large down to target size</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Ultra High Purity Nitrogen Gas</td>
			<td>www.praxairdirect.com</td>
			<td>NI 5.0UH-3K</td>
			<td>Used as medium for aerosol.</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Air Breathing Quality</td>
			<td>www.praxairdirect.com</td>
			<td>AI BR-4KN</td>
			<td>Used inside furnace during drying</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Lab Balance</td>
			<td>www.balances.com/</td>
			<td>Sartorius ED224S Lab Balance</td>
			<td>Used for weighing powder</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Sapphire Wafers</td>
			<td>www.pmoptics.com/</td>
			<td>PWSP-313211</td>
			<td></td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

formation of thick dense yttrium iron garnet films using aerosol deposition

에어로졸 증착 (AD)는 대량의 95 % 이상의 밀도와 두께 수백 마이크로 미터까지의 층을 생산할 수 후막 증착 공정이다. AD의 주요 장점은 증착 상온에서 전적으로 일어난다이다; 따라서 서로 다른 용융 온도를 가진 물질 시스템의 막 성장을 가능하게한다. 이 보고서는 분말을 제조하고 맞춤형 시스템을 사용하여 AD를 수행하기위한 상세 처리 단계를 설명한다. 대표적인 특성 분석 결과는이 시스템에서 성장 영화에 대한 전자 현미경, 프로필 로메, 강자성 공명 검색에서 제공됩니다. 시스템의 기능 개요를 대표로서, 포커스 기재된 프로토콜 및 시스템 설치 다음 샘플 제조에 주어진다. 결과는이 시스템이 성공적으로 하나 5 분간 증착 중에있는 R 11 μm의 두께 이트륨 철 가넷 필름&gt; 벌크 밀도의 90 %를 증착 할 수 있음을 나타낸다유엔. 개선 두께 및 필름의 조도 변동을 에어로졸 입자 선택 나은 제어를 수득하는 방법의 설명이 제공된다.

증착이 완료된 후, 코팅 된 기판은 증착 챔버로부터 제거하고 광학 입체 현미경을 사용하여 검사된다. 샘플은 일반적으로 닦았과 분위기에 재 가압 동안 남아 초과 분말을 제거하는 이소프로판올로 세척한다. 필름 특성은, 프로파일 로메 필름의 자기 특성을 평가하기 위해 막 두께, 균일 한 조도 및 강자성 공명을 평가하기 위해 필름의 형태를 평가하기 위해 주사 전자 현미경을 사용하여 여기에 ...

Watch this Scientific Journal Video about Formation of Thick Dense Yttrium Iron Garnet Films Using Aerosol Deposition at JoVE.com

Formation of Thick Dense Yttrium Iron Garnet Films Using Aerosol Deposition

이 보고서는 실온에서 사파이어 기판에 이트륨 철 가넷의 두꺼운 필름의 에어로졸 증착을 수행 할 수있는 맞춤형 시스템의 사용에 대해 설명합니다. 증착 된 필름은 기술의 능력의 대표적인 개요를 제공하는 주사 전자 현미경, 프로파일 로메, 강자성 공명을 특징으로한다.

에어로졸 증착을 사용하여 두꺼운 고밀도 이트륨 철 가넷 필름의 형성

Aerosol deposition (AD) is a thick-film deposition process that can produce layers up to several hundred micrometers thick with densities greater than 95% ...

formation-thick-dense-yttrium-iron-garnet-films-using-aerosol

Research

JoVE Journal

Engineering

9.1K 조회수.  Naval Research Laboratory.  이 보고서는 실온에서 사파이어 기판에 이트륨 철 가넷의 두꺼운 필름의 에어로졸 증착을 수행 할 수있는 맞춤형 시스템의 사용에 대해 설명합니다. 증착 된 필름은 기술의 능력의 대표적인 개요를 제공하는 주사 전자 현미경, 프로파일 로메, 강자성 공명을 특징으로한다. 

비디오: Formation of Thick Dense Yttrium Iron Garnet Films Using Aerosol Deposition

Fabrication of Nano-engineered Transparent Conducting Oxides by Pulsed Laser Deposition

Nanosecond Pulsed Laser Deposition (PLD) in the presence of a background gas allows the deposition of metal oxides with tunable morphology, structure, density and stoichiometry by a proper control of the plasma plume expansion dynamics. Such versatility can be exploited to produce nanostructured films from compact and dense to nanoporous characterized by a hierarchical assembly of nano-sized clusters. In particular we describe the detailed methodology to fabricate two types of Al-doped ZnO (AZO) films as transparent electrodes in photovoltaic devices: 1) at low O2 pressure, compact films with electrical conductivity and optical transparency close to the state of the art transparent conducting oxides (TCO) can be deposited at room temperature, to be compatible with thermally sensitive materials such as polymers used in organic photovoltaics (OPVs); 2) highly light scattering hierarchical structures resembling a forest of nano-trees are produced at higher pressures. Such structures show high Haze factor (&gt;80%) and may be exploited to enhance the light trapping capability. The method here described for AZO films can be applied to other metal oxides relevant for technological applications such as TiO2, Al2O3, WO3 and Ag4O4.

We describe the experimental method to deposit nanostructured oxide thin films by nanosecond Pulsed Laser Deposition (PLD) in the presence of a background gas. By using this method Al-doped ZnO (AZO) films, from compact to hierarchically structured as nano-tree forests, can be deposited.

의 제작 펄스 레이저 증착에 의해 투명 실시 산화물 나노 설계

Nanosecond Pulsed  Laser Deposition (PLD) in the presence of a background gas allows the deposition  of metal oxides with tunable morphology, structure, ...

연구

공학

Speciation and Bioavailability Measurements of Environmental Plutonium Using Diffusion in Thin Films

The biological uptake of plutonium (Pu) in aquatic ecosystems is of particular concern since it is an alpha-particle emitter with long half-life which can potentially contribute to the exposure of biota and humans. The diffusive gradients in thin films technique is introduced here for in-situ measurements of Pu bioavailability and speciation. A diffusion cell constructed for laboratory experiments with Pu and the newly developed protocol make it possible to simulate the environmental behavior of Pu in model solutions of various chemical compositions. Adjustment of the oxidation states to Pu(IV) and Pu(V) described in this protocol is essential in order to investigate the complex redox chemistry of plutonium in the environment. The calibration of this technique and the results obtained in the laboratory experiments enable to develop a specific DGT device for in-situ Pu measurements in freshwaters. Accelerator-based mass-spectrometry measurements of Pu accumulated by DGTs in a karst spring allowed determining the bioavailability of Pu in a mineral freshwater environment. Application of this protocol for Pu measurements using DGT devices has a large potential to improve our understanding of the speciation and the biological transfer of Pu in aquatic ecosystems.

The technique of diffusive gradients in thin films (DGT) is proposed for speciation studies of plutonium. This protocol describes diffusion experiments probing the behavior of Pu(IV) and Pu(V) in presence of organic matter. DGTs deployed in a karstic spring allow assessment of the bioavailability of Pu.

박막의 확산을 사용하여 환경 플루토늄의 분화 및 생체 이용률 측정

The biological uptake of plutonium (Pu) in aquatic ecosystems is of particular concern since it is an alpha-particle emitter with long half-life which can ...

Electrospray Deposition of Uniform Thickness Ge23Sb7S70 and As40S60 Chalcogenide Glass Films

Solution-based electrospray film deposition, which is compatible with continuous, roll-to-roll processing, is applied to chalcogenide glasses. Two chalcogenide compositions are demonstrated: Ge23Sb7S70 and As40S60, which have both been studied extensively for planar mid-infrared (mid-IR) microphotonic devices. In this approach, uniform thickness films are fabricated through the use of computer numerical controlled (CNC) motion. Chalcogenide glass (ChG) is written over the substrate by a single nozzle along a serpentine path. Films were subjected to a series of heat treatments between 100 &#176;C and 200 &#176;C under vacuum to drive off residual solvent and densify the films. Based on transmission Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy and surface roughness measurements, both compositions were found to be suitable for the fabrication of planar devices operating in the mid-IR region. Residual solvent removal was found to be much quicker for the As40S60 film as compared to Ge23Sb7S70. Based on the advantages of electrospray, direct printing of a gradient refractive index (GRIN) mid-IR transparent coating is envisioned, given the difference in refractive index of the two compositions in this study.

Electrospray Deposition of Uniform Thickness Ge23Sb7S70 and As40S60 Chalcogenide Glass Films

A method of uniform thickness solution-derived chalcogenide glass film deposition is demonstrated using computer numerical controlled motion of a single-nozzle electrospray.

균일 한 두께의 Ge 전기 분무 증착<sub&gt; (23)</sub&gt;의 Sb<sub&gt; 7</sub&gt; S<sub&gt; (70)</sub&gt;와 같이<sub&gt; (40)</sub&gt; S<sub&gt; (60)</sub&gt; 칼 코게 나이드 유리 필름

Solution-based electrospray film deposition, which is compatible with continuous, roll-to-roll processing, is applied to chalcogenide glasses. Two ...

Fabrication of Ultra-thin Color Films with Highly Absorbing Media Using Oblique Angle Deposition

Ultra-thin film structures have been studied extensively for use as optical coatings, but performance and fabrication challenges remain.&#160; We present an advanced method for fabricating ultra-thin color films with improved characteristics. The proposed process addresses several fabrication issues, including large area processing. Specifically, the protocol describes a process for fabricating ultra-thin color films using an electron beam evaporator for oblique angle deposition of germanium (Ge) and gold (Au) on silicon (Si) substrates.&#160; Film porosity produced by the oblique angle deposition induces color changes in the ultra-thin film. The degree of color change depends on factors such as deposition angle and film thickness. Fabricated samples of the ultra-thin color films showed improved color tunability and color purity. In addition, the measured reflectance of the fabricated samples was converted into chromatic values and analyzed in terms of color. Our ultra-thin film fabricating method is expected to be used for various ultra-thin film applications such as flexible color electrodes, thin film solar cells, and optical filters. Also, the process developed here for analyzing the color of the fabricated samples is broadly useful for studying various color structures.

We present a detailed method for fabricating ultra-thin color films with improved characteristics for optical coatings. The oblique angle deposition technique using an electron beam evaporator allows improved color tunability and purity. Fabricated films of Ge and Au on Si substrates were analyzed by reflectance measurements and color information conversion.

기울기 각도 증 착을 사용 하 여 미디어를 흡수 하는 높은 가진 매우 얇은 필름의 제조

Ultra-thin film structures have been studied extensively for use as optical coatings, but performance and fabrication challenges remain.&#160; We present ...

An Analog Macroscopic Technique for Studying Molecular Hydrodynamic Processes in Dense Gases and Liquids

An analog, macroscopic method for studying molecular-scale hydrodynamic processes in dense gases and liquids is described. The technique applies a standard fluid dynamic diagnostic, particle image velocimetry (PIV), to measure: i) velocities of individual particles (grains), extant on short, grain-collision time-scales, ii) velocities of systems of particles, on both short collision-time- and long, continuum-flow-time-scales, iii) collective hydrodynamic modes known to exist in dense molecular fluids, and iv) short- and long-time-scale velocity autocorrelation functions, central to understanding particle-scale dynamics in strongly interacting, dense fluid systems. The basic system is composed of an imaging system, light source, vibrational sensors, vibrational system with a known media, and PIV and analysis software. Required experimental measurements and an outline of the theoretical tools needed when using the analog technique to study molecular-scale hydrodynamic processes are highlighted. The proposed technique provides a relatively straightforward alternative to photonic and neutron beam scattering methods traditionally used in molecular hydrodynamic studies.

An experimentally accessible analog method for studying molecular hydrodynamic processes in dense fluids is presented. The technique uses particle image velocimetry of vibrated, high-restitution grain piles and allows direct, macroscopic observation of dynamical processes known and predicted to exist in strongly interacting, high density gases and liquids.

An analog, macroscopic method for studying molecular-scale hydrodynamic processes in dense gases and liquids is described. The technique applies a ...

Production of Single Tracks of Ti-6Al-4V by Directed Energy Deposition to Determine the Layer Thickness for Multilayer Deposition

Directed Energy Deposition (DED), which is an additive manufacturing technique, involves the creation of a molten pool with a laser beam where metal powder is injected as particles. In general, this technique is employed to either fabricate or repair different components. In this technique, the final characteristics are affected by many factors. Indeed, one of the main tasks in building components by DED is the optimization of process parameters (such as laser power, laser speed, focus, etc.) which is usually carried out through an extensive experimental investigation. However, this sort of experiment is extremely lengthy and costly. Thus, in order to accelerate the optimization process, an investigation was conducted to develop a method based on the melt pool characterizations. In fact, in these experiments, single tracks of Ti-6Al-4V were deposited by a DED process with multiple combinations of laser power and laser speed. Surface morphology and dimensions of single tracks were analyzed, and geometrical characteristics of melt pools were evaluated after polishing and etching the cross-sections. Helpful information regarding the selection of optimal process parameters can be achieved by examining the melt pool features. These experiments are being extended to characterize the larger blocks with multiple layers. Indeed, this manuscript describes how it would be possible to quickly determine the layer thickness for the massive deposition, and avoid over or under-deposition according to the calculated energy density of the optimum parameters. Apart from the over or under-deposition, time and materials saving are the other great advantages of this approach in which the deposition of multilayer components can be started without any parameter optimization in terms of layer thickness.

In this research, a rapid method based on melt pool characterization is developed to estimate the layer thickness of Ti-6Al-4V components produced by directed energy deposition.

Ti-6Al-4V 멀티 레이어 증 착에 대 한 레이어 두께 결정 하기 위해 증 착 지시 에너지의 단일 트랙의 생산

Directed Energy Deposition (DED), which is an additive manufacturing technique, involves the creation of a molten pool with a laser beam where metal ...

Atomic Layer Deposition of Vanadium Dioxide and a Temperature-dependent Optical Model

Vanadium dioxide is a material that has a reversible metal-insulator phase change near 68 &#176;C. To grow VO2 on a wide variety of substrates, with wafer-scale uniformity and angstrom level control of thickness, the method of atomic-layer deposition was chosen. This ALD process enables high-quality, low-temperature (&#8804;150 &#176;C) growth of ultrathin films (100-1000 &#197;) of VO2. For this demonstration, the VO2 films were grown on sapphire substrates. This low temperature growth technique produces mostly amorphous VO2 films. A subsequent anneal in an ultra-high vacuum chamber with a pressure of 7x10-4 Pa of ultra-high purity (99.999%) oxygen produced oriented, polycrystalline VO2 films. The crystallinity, phase, and strain of the VO2 were determined by Raman spectroscopy and X-ray diffraction, while the stoichiometry and impurity levels were determined by X-ray photoelectron spectroscopy, and finally the morphology was determined by atomic force microscopy. These data demonstrate the high-quality of the films grown by this technique. A model was created to fit to the data for VO2 in its metallic and insulating phases in the near infrared spectral region. The permittivity and refractive index of the ALD VO2 agreed well with the other fabrication methods in its insulating phase, but showed a difference in its metallic state. Finally, the analysis of the films&#39; optical properties enabled the creation of a wavelength- and temperature-dependent model of the complex optical refractive index for developing VO2 as a tunable refractive index material.

Thin films (100-1000 &#197;) of vanadium dioxide (VO2) were created by atomic-layer deposition (ALD) on sapphire substrates. Following this, the optical properties were characterized through the metal-insulator transition of VO2. From the measured optical properties, a model was created to describe the tunable refractive index of VO2.

바나듐이 산화물 및 온도 따른 광 모델의 원자 층 증 착

Vanadium dioxide is a material that has a reversible metal-insulator phase change near 68 &#176;C. To grow VO2 on a wide variety of substrates, with ...

Film Control to Study Contributions of Waves to Droplet Impact Dynamics on Thin Flowing Liquid Films

Droplet impact is a very common phenomenon in nature and attracts attention due to its aesthetic fascination and wide-ranging applications. Previous studies on flowing liquid films have neglected the contributions of spatial structures of waves to the impact outcome, while this has recently been shown to have a significant influence on the drop impact dynamics. In this report, we outline a step-by-step procedure to investigate the effect of periodic inlet forcing of a flowing liquid film leading to the production of spatiotemporally regular wave structures on drop impact dynamics. A function generator in connection with a solenoid valve is used to excite these spatiotemporally regular wave structures on the film surface while the impact dynamics of uniform-sized droplets are captured using a high-speed camera. Three distinct regions are then studied; viz. the capillary wave region preceding the large wave peak, the flat film region, and the wave hump region. The effects of important dimensionless quantities such as film Reynolds, drop Weber and Ohnesorge numbers parameterized by the film flow rate, drop speed, and drop size are also examined. Our results show interesting, hitherto undiscovered dynamics brought about by this application of film inlet forcing of the flowing film for both low and high inertia drops.

A protocol to study the contributions of waves to droplet impact dynamics on flowing liquid films is presented.

얇은 흐르는 액체 필름에 물방울 영향 역학 파의 기여를 공부 영화 컨트롤

Droplet impact is a very common phenomenon in nature and attracts attention due to its aesthetic fascination and wide-ranging applications. Previous ...

Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg3N2 and Zn3N2 Thin Films

This article describes a procedure for growing Mg3N2 and Zn3N2 films by plasma-assisted molecular beam epitaxy (MBE). The films are grown on 100 oriented MgO substrates with N2 gas as the nitrogen source. The method for preparing the substrates and the MBE growth process are described. The orientation and crystalline order of the substrate and film surface are monitored by the reflection high energy electron diffraction (RHEED) before and during growth. The specular reflectivity of the sample surface is measured during growth with an Ar-ion laser with a wavelength of 488 nm. By fitting the time dependence of the reflectivity to a mathematical model, the refractive index, optical extinction coefficient, and growth rate of the film are determined. The metal fluxes are measured independently as a function of the effusion cell temperatures using a quartz crystal monitor. Typical growth rates are 0.028 nm/s at growth temperatures of 150 &#176;C and 330 &#176;C for Mg3N2 and Zn3N2 films, respectively.

Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg3N2 and Zn3N2 Thin Films

This article describes the growth of epitaxial films of Mg3N2 and Zn3N2 on MgO substrates by plasma-assisted molecular beam epitaxy with N2 gas as the nitrogen source and optical growth monitoring.

Mg3N2 및 Zn 3 N2 박막의 플라즈마 보조 분자 빔 에피택시 성장

This article describes a procedure for growing Mg3N2 and Zn3N2 films by plasma-assisted molecular beam epitaxy (MBE). The films are grown on 100 oriented ...

Procedure for the Transfer of Polymer Films Onto Porous Substrates with Minimized Defects

The fabrication of devices containing thin film composite membranes necessitates the transfer of these films onto the surfaces of arbitrary support substrates. Accomplishing this transfer in a highly controlled, mechanized, and reproducible manner can eliminate the creation of macroscale defect structures (e.g., tears, cracks, and wrinkles) within the thin film that compromise device performance and the usable area per sample. Here, we describe a general protocol for the highly controlled and mechanized transfer of a polymeric thin film onto an arbitrary porous support substrate for eventual use as a water filtration membrane device. Specifically, we fabricate a block copolymer (BCP) thin film on top of a sacrificial, water-soluble poly(acrylic acid) (PAA) layer and silicon wafer substrate. We then utilize a custom-designed, 3D-printed transfer tool and drain chamber system to deposit, lift-off, and transfer the BCP thin film onto the center of a porous anodized aluminum oxide (AAO) support disc. The transferred BCP thin film is shown to be consistently placed onto the center of the support surface due to the guidance of the meniscus formed between the water and the 3D-printed plastic drain chamber. We also compare our mechanized transfer-processed thin films to those that have been transferred by hand with the use of tweezers. Optical inspection and image analysis of the transferred thin films from the mechanized process confirm that little-to-no macroscale inhomogeneities or plastic deformations are produced, as compared to the multitude of tears and wrinkles produced from manual transfer by hand. Our results suggest that the proposed strategy for thin film transfer can reduce defects when compared to other methods across many systems and applications.

We present a procedure for highly controlled and wrinkle-free transfer of block copolymer thin films onto porous support substrates using a 3D-printed drain chamber. The drain chamber design is of general relevance to all procedures involving transfer of macromolecular films onto porous substrates, which is normally done by hand in an irreproducible fashion.

결함이 최소화된 다공성 기판에 폴리머 필름 을 이송하는 절차

The fabrication of devices containing thin film composite membranes necessitates the transfer of these films onto the surfaces of arbitrary support ...