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고처리량 대규모 시료 검사를 위한 Quattro-Parallel Cantilever 어레이를 사용한 Active Probe Atomic Force Microscopy

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05:04 min

June 13th, 2023

DOI :

10.3791/65210-v

June 13th, 2023


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Quattro Parallel

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Introduction

1:23

Instrument Calibration, Experimental Setup, and Parameter Tuning for Semiconductor Wafer Topography Imaging with AFM

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