Feixes de Íons Focalizados

Visão Geral

Fonte: Sina Shahbazmohamadi e Peiman Shahbeigi-Roodposhti-Roodposhti, Escola de Engenharia, Universidade de Connecticut, Storrs, CT

À medida que os microscópios eletrônicos se tornam mais complexos e amplamente utilizados em laboratórios de pesquisa, torna-se mais uma necessidade de introduzir suas capacidades. O feixe de íons focado (FIB) é um instrumento que pode ser empregado para fabricar, aparar, analisar e caracterizar materiais em mico-e nanoescamas em uma ampla variedade de campos, da nanoeletrônica à medicina. Os sistemas FIB podem ser considerados como um feixe de íons que podem ser usados para moer (sputter), depósito e materiais de imagem em micro e nanoescamas. As colunas de íons dos FIBs são comumente integradas com as colunas eletrônicas dos microscópios eletrônicos de varredura (SEMs).

O objetivo deste experimento é introduzir o estado da arte em tecnologias de feixe de íons focalizando e mostrar como esses instrumentos podem ser usados para fabricar estruturas tão pequenas quanto as menores membranas encontradas no corpo humano.

Procedimento

1. Fabricação de um filtro perfurado de uma membrana de óxido de silício de 300nm de espessura comparável em escala ao citoplasma endotelial dos rins

  1. Coloque a membrana preparada na câmara FIB. As membranas são frequentemente preparadas por profissionais (ao criar pontes de Wheatstone) e podem ser adquiridas em locais de fabricação de semicondutores. Para preparar um você mesmo, a fotolitografia deve ser usada. Os detalhes desse processo podem ser vistos no vídeo fotolitografia da "Coleção bioengenharia" no sit

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Aplicação e Resumo

Este experimento demonstrou como o uso de microscópios eletrônicos e feixes de íons focados permitem aos pesquisadores manipular e fabricar estruturas de microescala. A natureza molecular da interação focalizado do feixe de íons fornece à FIB uma habilidade única de manipular materiais nas micro e nanoescamas. Ao considerar cuidadosamente como o feixe interage com o material, mitigando artefatos de carregamento e definindo o sistema para uma ótima qualidade de moagem, um pesquisa...

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Tags
Focused Ion BeamFIBFabricateTrimAnalyzeCharacterizeMicro And Nano ScalesElectronicsMedicineBeam FormationLiquid Metal IonsVacuumElectromagnetic LensesSputteringImagingSite specific SputteringMillingGallium IonsFilamentVoltage ApplicationKinetic Energy Transfer

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0:08

Overview

1:08

Principles of Focused Ion Beams

4:42

Preparing and Loading the Sample

5:33

Preparing the FIB-SEM

6:36

Milling and Imaging

7:33

Results

8:01

Applications

8:56

Summary

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