Для начала прикрепите мастер-кремниевую пластину SU8 для микрофлюидного канала к внутренней стороне пластиковой 14-сантиметровой чашки Петри и очистите ее газообразным азотом. Свесьте соответствующее количество полидиметилсилоксана или основания PDMS и отвердителя PDMS в бумажном стаканчике. С помощью деревянной лопатки смешайте их, пока смесь не приобретет мутно-белый цвет.
Вылейте смесь PDMS в пластиковую чашку Петри, содержащую кремниевую пластину. Затем поместите чашку Петри в вакуумный эксикатор, оснащенный трехходовым запорным краном. Поверните клапан запорного крана, чтобы подключить вакуум к камере эксикатора для удаления пузырьков воздуха из смеси.
Как только все пузырьки воздуха будут удалены из элементов каналов, поместите чашку Петри в духовку при температуре 70 градусов Цельсия на четыре часа. После того как чашка Петри остынет до комнатной температуры, поместите ее на режущий коврик. С помощью скальпеля вырежьте часть PDMS над кремниевой пластиной.
Поместите вырезанную PDMS между двумя листами лабораторной упаковочной пленки. Зазор между углублением микроканала и пленкой помогает определить вход и выход микрофлюидного канала. Затем с помощью бритвенного лезвия вырезайте отдельный канал из большого PDMS и с помощью соответствующих биопсийных отверстий сделайте соответствующие входные и выходные отверстия в канале.
Поместите канал с отверстием стороной вверх на чистое стеклостекло. Поместите стеклянную подложку, содержащую тонкопленочные электроды оксида индия-олова или межпальцевые электроды ITO, на одно и то же предметное стекло электродами вверх. Затем аккуратно поместите предметное стекло в плазменный очиститель.
После закрытия газового клапана и включения насоса подождите две минуты, чтобы получить показания датчика от 600 до 800 миллиторр. Затем включите выключатель питания и подождите 30 секунд, прежде чем повернуть ручку питания радиочастотного сигнала с низкого на высокий и подождать одну минуту. Затем, чтобы выключить набор, следуйте обратной последовательности.
Сразу после открытия камеры плазменного очистителя поднимите и поверните PDMS на 180 градусов так, чтобы сторона канала была обращена вниз. Поместите канал на верхнюю часть подложки ITO, чтобы начать процесс склеивания. С помощью пинцета аккуратно надавите на углы PDMS в течение примерно трех секунд.
Загрузите грунтовочную среду в одномиллилитровый шприц с иглой 23 калибра. Медленно и осторожно намочите канал, вставив иглу прямо во входное отверстие перед выпуском среды, не вводя пузырьков воздуха. После инкубации в течение не менее трех минут удалите основную среду с помощью наконечника для пипетки объемом 10 микролитров.
Наконец, промойте канал средой для диэлектрофореза три раза, вставив среду в канал.