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多井板膜插入系统中3D 组织模型渗透扩散的测定与模拟方法
25.2K Views
•
10:33 min
February 23rd, 2018
DOI :
10.3791/56412-v
提出了一种用于多井板和在硅片中的膜插入系统中渗透率的测定方法, 并利用仿真对扩散系数进行了优化计算。
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