3D-Tiefenprofilrekonstruktion von segregierten Verunreinigungen mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie
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April 29th, 2020
DOI :
April 29th, 2020
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Kapitel in diesem Video
0:00
Introduction
0:57
Defect Selective Etching
2:09
Scanning Electron Microscopy
2:50
Secondary Ion Mass Spectrometry
5:34
Results: Oxygen Counts in a Cuboid
6:29
Conclusion
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