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Reconstruction 3D du profil de profondeur des impuretés ségréguées à l’aide de la spectrométrie de masse d’ions secondaires

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07:10 min

April 29th, 2020

DOI :

10.3791/61065-v

April 29th, 2020


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Reconstruction de profil de profondeur 3D

Chapitres dans cette vidéo

0:00

Introduction

0:57

Defect Selective Etching

2:09

Scanning Electron Microscopy

2:50

Secondary Ion Mass Spectrometry

5:34

Results: Oxygen Counts in a Cuboid

6:29

Conclusion

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