Epitaxial Nanostructured α-Quartz-Folien auf Silizium: Vom Material zu neuen Geräten
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11:34 min
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October 6th, 2020
DOI :
October 6th, 2020
•Kapitel in diesem Video
0:05
Introduction
0:54
Preparation of PDMS Templates and Gel Film Deposition on SOI Substrates by Dip-Coating
2:55
Surface Micro/Nanostructuration by Soft Imprint Lithography and Gel Film Crystallization by Thermal Treatment
4:00
Preparing and Patterning of the Quartz Samples for the Cantilever Microfabrication Process
8:49
Results: Qualitative Analysis of the Progressive Epitaxial Nanostructured α-Quartz Film Thickness Developed on Silicon
10:20
Conclusion
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