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Pellicole α al quarzo epitassiale su silicio: dal materiale ai nuovi dispositivi

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11:34 min

October 6th, 2020

DOI :

10.3791/61766-v

October 6th, 2020


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0:05

Introduction

0:54

Preparation of PDMS Templates and Gel Film Deposition on SOI Substrates by Dip-Coating

2:55

Surface Micro/Nanostructuration by Soft Imprint Lithography and Gel Film Crystallization by Thermal Treatment

4:00

Preparing and Patterning of the Quartz Samples for the Cantilever Microfabrication Process

8:49

Results: Qualitative Analysis of the Progressive Epitaxial Nanostructured α-Quartz Film Thickness Developed on Silicon

10:20

Conclusion

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