Real-Time DC-dinámico Método de polarización de conmutación Tiempo Mejoras en Severamente Subamortiguado Fleco campo electrostático MEMS actuadores

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•

11:44 min

•

August 15th, 2014

DOI :

10.3791/51251-v

August 15th, 2014

•

Joshua Small¹, Adam Fruehling², Anurag Garg³, Xiaoguang Liu¹, Dimitrios Peroulis³

¹Department of Electrical and Computer Engineering, University of California, Davis, ²Digital Light Projection (DLP) Technology Development, Texas Instruments, ³Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering, Purdue University

Resumen

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F sica

Edici n 90

sistemas microelectromec nicos

actuadores

tiempo de conmutaci n

tiempo de establecimiento

los dispositivos electrost ticos

micromecanizado

los dispositivos de pel cula delgada

Capítulos en este video

0:05

Title

1:08

Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams

8:28

Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing

10:23

Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge

11:16

Conclusion

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