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Microscopie électronique à balayage (MEB)

Vue d'ensemble

Source : Laboratoire de Dr. Andrew J. Steckl — Université de Cincinnati

Un microscope électronique à balayage, ou SEM, est un puissant microscope qui utilise des électrons pour former une image. Il permet pour l’imagerie des échantillons conducteurs à grossissements ne peuvent être réalisées à l’aide de microscopes traditionnels. Microscopes de lumière modernes peuvent atteindre un grossissement de ~ 1, 000 X, tandis que SEM typique peut atteindre des grossissements de plus de 30, 000 X. Parce que la SEM n’utilise la lumière pour créer des images, les images qui en résultent, qu'il forme sont en noir et blanc.

Échantillons conducteurs sont chargés sur scène d’échantillon de la SEM. Une fois que la chambre de l’échantillon atteint vide, l’utilisateur procèdera à aligner le canon à électrons dans le système à l’emplacement approprié. Le canon à électrons jaillit un faisceau d’électrons de haute énergie, qui voyage à travers une combinaison de lentilles et ouvertures et finit par frapper l’échantillon. Comme le canon à électrons continue à tirer des électrons à une position précise sur l’échantillon, les électrons secondaires rebondira hors de l’échantillon. Ces électrons secondaires sont identifiés par le détecteur. Le signal trouvé d’électrons secondaires est amplifié et envoyé à l’écran, créant une image en 3D. Cette vidéo fera la démonstration de préparation d’échantillons de SEM, de fonctionnement et des capacités d’imagerie.

Procédure

1. préparation de l’échantillon

  1. Échantillon de place sur le talon de l’échantillon. Si nécessaire, ruban carbone peut servir pour les coller l’échantillon vers le stub.
  2. Placer l’échantillon dans un système de pulvérisation d’or. À l’aide d’une pulvérisation mini-gold, bredouiller or pendant 30 s à ~ 70 mTorr pression. Une épaisseur de couche d’or différentes peut être nécessaire en fonction de la géométrie de l’échantillon. Surface plus rugueuse ou poreuse exige un temps plus de pulvérisation.

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Résultats

La SEM, vu l' Figure 2 a, a été utilisé pour effectuer des mesures et l’acquisition des photos de l’échantillon. L’échantillon était composé de sel de chlorure de sodium (NaCl). Il a été placé sur la fusée comme on le voit dans la Figure 2 b, puis quelques nanomètres d’or a été pulvérisé dessus pour le rendre conducteur. L’échantillon conductrice a été ensuite placé dans la zone de prélèvement de SEM comme on le voit à la Figure 2c.

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Applications et Résumé

Le SEM est un outil très puissant qui est courant dans la plupart des instituts de recherche en raison de sa capacité à n’importe quel objet qui est conducteur, ou a été traitée avec une couche conductrice d’image. La SEM a été utilisé afin d’imager des objets tels que des dispositifs à semi-conducteurs, les membranes biologiques de2 ,3 et insectes,4 parmi d’autres. Nous avons également utilisé la SEM pour analyser les nanofibres et des matériaux à base de papier, de...

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References
  1. Goldstein, J., Newbury, D., Joy, D., Lyman, C., Echlin, P., Lifshin, E., Sawyer, L., Michael, J. Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis. 3rd Ed. Springer, New York, NY. (2003).
  2. Purandare, S., Gomez, E.F., Steckl, A.J. High brightness phosphorescent organic light emitting diodes on transparent and flexible cellulose films. Nanotechnology. 25, 094012 (2014).
  3. Masuda, Y., Yamanaka, N., Ishikawa, A., Kataoka, M., Aral, T., Wakamatsu, K., Kuwahara, N., Nagahama, K., Ichikawa, K., Shimizu, A. Glomerular basement membrane injuries in IgA nephropathy evaluated by double immunostaining for a5(IV) and a2(IV) chains of type IV collagen and low-vacuum scanning electron microscopy. Clinical and Experimental Nephrology. 1-9. (2014).
  4. Kang, J.H., Lee, Y.J., Oh, B.K., Lee, S.K. Hyun, B.R. Lee, B.W, Choi, Y.G., Nam, K.S., Lim, J.D. Microstructure of the water spider (Argyroneta aquatic) using the scanning electron microscope Journal of Asia-Pacific Biodiversity. 7 484-488 (2014).
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Valeur videquestion

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0:00

Overview

1:49

Principles of Scanning Electron Microscopy

4:10

Sample Preparation and Loading

5:54

SEM Operation

8:22

Image Analysis

9:17

Applications

11:13

Summary

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