ゲート定義のGaAs / AlGaAs系横量子ドットのナノファブリケーション

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November 1st, 2013

DOI :

10.3791/50581-v

November 1st, 2013


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この動画の章

0:05

Title

1:21

Etching of the Mesa

5:53

Fabrication of the Ohmic Contacts

8:38

Fabrication of the Titanium/Gold Schottky Leads

10:45

Fabrication of the Aluminum Gates

11:08

Fabrication of the Bonding Pads

11:54

Dicing of the Sample

12:50

Bonding

15:14

Conclusion

13:07

Results: Confirming Gate Integrity

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