무선 주파수 마그네트론 스퍼터링 기법을 이용한 Bi2 Te3 및 Sb2Te3 열전 박막 제작
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May 17th, 2024
DOI :
May 17th, 2024
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Introduction
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Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates
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