Part of the work has been performed in the project JEMSiP_3D, which is funded by the Public Authorities in France, Germany, Hungary, The Netherlands, Norway and Sweden, as well as by the ENIAC Joint Undertaking. The authors would like to thank the Dimes Technology Centre staff for processing support.

Attenzione: Si prega di consultare tutte le schede di sicurezza pertinenti (MSDS) prima dell&#39;uso. Molti dei prodotti chimici utilizzati in questo processo di fabbricazione sono altamente tossici e cancerogeni. I nanomateriali possono avere rischi aggiuntivi rispetto alla loro controparte massa. Si prega di utilizzare tutte le pratiche di sicurezza appropriate quando si lavora con attrezzature, prodotti chimici o nanomateriali, compreso l&#39;uso di controlli tecnici (cappa) e dispositivi di protezione individuale (occhiali, guanti, abiti camere bianche). 1. Allineamento Marker Definizione per litografia <ol><li> Inizia con grado industriale lucido single-sided Si (100) wafer con o n o drogaggio di tipo p. </li><li> Rivestire la cialda con 1,4 micron di photoresist positivo. Eseguire 90 sec esametildisilazano (HMDS) trattamento a 130 ° C per favorire l&#39;adesione del fotoresist, seguita da raffreddamento della fetta su un piatto freddo, spin-coating ad una velocità appropriata (3500 rpm), e 90 sec bake morbido unt 95 ° C. </li><li> Utilizzando una maschera di foto-litografia e strumento di esposizione esporre i segni di allineamento, dose di esposizione di 120 mJ / cm 2. </li><li> Eseguire un unico processo di sviluppo pozzanghera. Eseguire un 90 sec 115 ° C post-esposizione cuocere, seguito da 60 secondi di sviluppo utilizzando sviluppatore e 90 sec duro cuocere in forno a 100 ° C per curare il resistere. </li><li> Utilizzare un microscopio per controllare se le aperture di resist sono delle dimensioni corrette. </li><li> Etch 120 nm di Si utilizza plasma etching cloro. Questo spessore dà un buon contrasto per i sistemi di allineamento automatico dell&#39;utensile esposizione utilizzato in questo lavoro. Ad esempio, utilizzando un plasma ad accoppiamento induttivo (ICP): 20/40 sccm O 2 / CF 4, 5 mTorr, 60/500 W piastra / potenza RF ICP, 10 sec ossido svolta incisione, seguita da 80/40 SCCM Cl 2 / HBr , 60 mTorr, 20/500 W piastra / potenza ICP RF, 35 sec Si etch. </li><li> Utilizzare una spogliarellista plasma di ossigeno per rimuovere il photoresist (1 kW, 400 SCCM O 2 con endpoint rilevazione e 2 min overetch). Poiché il photoresist è curata da solvente come acetone plasma normale non può essere utilizzato. </li><li> Pulire i wafer. Prima metterli per 10 min a 99% HNO 3, seguita da risciacquo in acqua deionizzata fino alla resistività dell&#39;acqua è 5 MW (pulito organica). Dopo questo pulito i wafer per 10 min a 65% HNO 3 a 110 ° C, seguita da risciacquo con acqua deionizzata fino alla resistività dell&#39;acqua è 5 MW (metallo pulito). Utilizzare un essiccatore sciacquatrice per asciugare i wafer. </li></ol> 2. inferiore in metallo e strato intermedio dielettrico Deposizione <ol><li> Utilizzare magnetron sputtering a depositare lo strato metallico fondo del test via. Una pila di tre strati metallici deve essere depositato: 500 nm di Ti, 50 nm di TiN e 100 nm Ti. Il primo strato di Ti è quello di ridurre la resistenza della pila, TiN è lo strato di supporto effettivo per la crescita CNT, e la parte superiore Ti è proteggere il TiN contro danni plasma quando attacco dello strato 12 SiO 2 </sup&gt;. Eseguire Ti sputtering utilizzando un target puro Ti con Ar-plasma ad una temperatura del substrato di 350 ° C. Per TiN sputtering reattivo utilizzare una combinazione di Ar e N 2, di nuovo a 350 ° C di temperatura del substrato. </li><li> Utilizzando deposizione di vapore chimico plasma (PECVD), depositare uno spesso strato di SiO 2 1 micron. Qui tetraetilortosilicato (TEOS) viene utilizzato come precursore ad una temperatura della piastra di 350 ° C. <ol><li> Controllare lo spessore dello strato di SiO 2 utilizzando uno strumento appropriato, per esempio un riflettometro o ellissometro. </li></ol></li><li> Coat il wafer con 1,4 micron di photoresist positivo, iniziando con un trattamento 90 sec HMDS a 130 ° C, seguita da raffreddamento della fetta su un piatto freddo, spin-coating ad una velocità appropriata (3500 rpm), e 90 sec morbido cuocere in forno a 95 ° C. </li><li> Utilizzando una maschera di foto-litografia e strumento di esposizione, esporre il modello desiderato di aperture, che verrà successivamente inciso nella SiO 2 to formare le vias, allineati per i segni di allineamento, dose di esposizione di 140 mJ / cm 2. </li><li> Eseguire un unico processo di sviluppo pozza a partire da un 90 sec 115 ° C post-esposizione bake, seguito da 60 sec sviluppo utilizzando sviluppatore e 90 sec duro cuocere a 100 ° C. </li><li> Utilizzare un microscopio per controllare se le aperture di resist sono delle dimensioni corrette e se la sovrapposizione per i segni di allineamento sia corretto. </li><li> Plasma etch le aperture di contatto negli SiO 2. Ad esempio, utilizzare un incisore triodo plasma con C 2 F 6 / CHF 3 36/144 sccm a 180 mTorr e 300 W di potenza RF. Se necessario, eseguire test velocità di attacco su un wafer di prova per minimizzare sopra incisione al 5% -10% nel tempo. Nota: Sebbene il Ti è resistente all&#39;attacco reattivo in questa chimica fluoro, prolungata esposizione al plasma si tradurrà in incisione fisica dello strato Ti. Se lo strato di TiN è esposto al plasma questo avrà un influen negativoCE sulla crescita del CNT 12. Non utilizzare attacco umido come questo si tradurrà in troppo allargamento delle aperture, rendendo la metallizzazione in alto nella parte 4 problematico. </li><li> Rimuovere il sacrificale Ti strato dopo attacco umido in 0,55% HF per 60 sec. Dopo l&#39;incisione risciacquare i wafer con acqua deionizzata fino alla resistività dell&#39;acqua è di 5 MW e utilizzare un essiccatore sciacquatrice per asciugare i wafer. Nota: Utilizzando un microscopio può essere controllato se lo strato di Ti viene attaccato lo strato di TiN avrà un colore marrone-oro, mentre il Ti è grigio metallizzato. </li></ol> 3. Catalyst Deposizione e CNT crescita <ol><li> Evaporare 5 nm di Co usando un evaporatore e-beam. Pump down fino almeno 2x10 -6 Torr, e riscaldare i wafer a 60 ° C con lampade sotto vuoto prima di depositare per rimuovere qualsiasi pellicola d&#39;acqua. La foto-resist utilizzato per definire le aperture di contatto viene mantenuto sul wafer di fornire auto-allineamento del catalizzatore alle aperture di contatto negli SiO 2. </li><li> Rimuovereil Co di fuori delle aperture di contatto con l&#39;ascensore-off. Per Co si è constatato che tetraidrofurano (THF) dà i risultati migliori lift-off e la crescita a basse temperature. N-metil-2-pirrolidone (NMP), che è stato utilizzato in precedenza per il decollo dopo Fe evaporazione, è stato trovato per danni un Co troppo misura tale da impedire qualsiasi crescita CNT allineati. Mettere il wafer per 15 min in un bagno ad ultrasuoni con THF a 35 ° C. Risciacquare con acqua deionizzata per 5 minuti e asciugare con un filatore o azoto pistola. </li><li> Controllare il wafer sotto un microscopio e verificare la presenza di residui di resistere. Qualora i residui rimangono eseguire un trattamento più lungo ultrasuoni in THF, e facoltativamente utilizzare uno speciale tampone di cotone morbido per scopi lift-off per pulire manualmente via residui. </li><li> Eseguire la crescita CNT con bassa pressione deposizione di vapore chimico (LPCVD). Utilizzare la seguente ricetta: 8 min pre-ricottura a 350 ° C con 700 SCCM H 2 a 80 mbar, seguita da una crescita CNT aggiungendo 50 sccm C 2 H 2. A 350 ° C, 60min di crescita dà circa 1 micron di CNT. Se necessario eseguire un test di crescita per sintonizzare l&#39;altezza, che dovrebbe essere lo stesso spessore dello strato di SiO 2. Far raffreddare il reattore e spurgare con N 2. </li><li> Utilizzare un microscopio elettronico a scansione per controllare l&#39;altezza del CNT all&#39;interno delle aperture sotto i 45 ° di inclinazione, oppure preparando una sezione trasversale. </li><li> Controllare i campioni utilizzando la spettroscopia Raman per determinare la cristallinità della CNT 18. </li></ol> 4. Fesa Metallizzazione <ol><li> Utilizzare magnetron sputtering per depositare il metallo in alto. Come Ti è un buon contatto metallo CNT 19, primo sputter 100 nm di Ti, seguito da 2 micron di Al (1% Si) senza rompere il vuoto. </li><li> Coat il wafer con 3,1 micron di photoresist positivo con una maggiore viscosità, iniziando con un trattamento 90 sec HMDS a 130 ° C, seguita da raffreddamento della fetta su un piatto freddo, spin-coating a 3.000 rpm, e una cottura morbida 90 sec a 95° C. </li><li> Utilizzando una maschera di foto-litografia e strumento di esposizione esporre il metallo modello top allineati ai segni di allineamento, dose di esposizione 420 mJ / cm 2, messa a fuoco di -1. </li><li> Eseguire un unico processo di sviluppo pozzanghera. Questo inizia con un 90 sec 115 ° C post-esposizione bake, seguito da 60 sec sviluppo utilizzando sviluppatore e 90 sec duro cuocere a 100 ° C. </li><li> Utilizzare un microscopio per controllare se le linee di resist sono delle dimensioni corrette e se la sovrapposizione dei marcatori è corretta. </li><li> Etch lo stack Ti / Al mediante plasma etching cloro. Ad esempio, utilizzando un plasma ad accoppiamento induttivo: 30/40 sccm Cl 2 / HBr, 5 mTorr, 40/500 W di potenza Platen / ICP RF con rilevamento degli endpoint e l&#39;80% con 15/30 sccm overetch Cl 2 / HBr. </li><li> Utilizzare una spogliarellista plasma di ossigeno per rimuovere il photoresist (1 kW, 400 SCCM O 2 con rilevamento degli endpoint e 2 min overetch). Se la copertura metallica non è completo (cioè ci sono fori intornoCNT) utilizzare un solvente organico (ad esempio, NMP) per rimuovere il fotoresist per evitare danni plasma al CNT. </li><li> Pulire i wafer. Messo loro per 10 min a 99% HNO 3, seguito da risciacquo con acqua deionizzata fino alla resistività dell&#39;acqua è 5 MW (pulito organica). Utilizzare un essiccatore sciacquatrice per asciugare i wafer. </li></ol> 5. Misurazioni <ol><li> Utilizzare un microscopio elettronico a scansione in base alle istruzioni del produttore per verificare la metallizzazione superiore del wafer. Nota:. Se necessario, il wafer può essere scisso meccanicamente al fine di verificare la completa CNT tramite utilizzando una inclinazione campione di 90 °, per immagini, come mostrato in Figura 3 Come campioni sono elettricamente conduttivi devono essere utilizzati senza trattamenti addizionali e i campioni possono essere montati nel SEM. Generalmente, elevate tensioni di accelerazione di 15 kV o 20 possono essere utilizzate, ma se lo strato SiO 2 è in carica troppo questo può essere ridotto to 5 kV. </li><li> Eseguire 4 punti misurazioni sonda IV, per una stazione di prova in combinazione con un analizzatore di parametri a semiconduttore come descritto nella Figura 1 e in Vollebregt et al. 16. Nota: Normalmente una spazzata tensione da -0.5 a 0.5 V è sufficiente, come la caduta di potenziale tramite una interconnessione ideale è piccola. Utilizzando una configurazione sonda 4-punto la resistenza di contatto degli aghi della sonda e le resistenze a filo del setup vengono omessi. </li></ol>

<ol>
	<li>Sun, S. C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Process+technologies+for+advanced+metallization+and+interconnect+systems.">Process technologies for advanced metallization and interconnect systems.</a> Technical digest of the IEEE International Electron Devices Meeting. , 765-768 (1997).</li><li>Robertson, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Growth+of+nanotubes+for+electronics.">Growth of nanotubes for electronics.</a> Mater. Today. 10 (1-2), 36-43 (2007).</li><li>Wei, B. Q., Vajtai, R., Ajayan, P. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Reliability+and+current+carrying+capacity+of+carbon+nanotubes.">Reliability and current carrying capacity of carbon nanotubes.</a> Appl. Phys. Lett. 79 (8), 1172-1174 (2001).</li><li>Rossnagel, S. M., Wisnieff, R., Edelstein, D., Kuan, T. S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Interconnect+issues+post+45nm.">Interconnect issues post 45nm.</a> Technical digest of the IEEE International Electron Devices Meeting. , 89-91 (2005).</li><li>Pop, E., Mann, D., Wang, Q., Goodson, K., Dai, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Thermal+Conductance+of+an+Individual+Single-Wall+Carbon+Nanotube+above+Room+Temperature.">Thermal Conductance of an Individual Single-Wall Carbon Nanotube above Room Temperature.</a> Nano Lett. 6 (1), 96-100 (2006).</li><li>Chiodarelli, N., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Measuring+the+electrical+resistivity+and+contact+resistance+of+vertical+carbon+nanotube+bundles+for+application+as+interconnects.">Measuring the electrical resistivity and contact resistance of vertical carbon nanotube bundles for application as interconnects.</a> Nanotechnology. 22 (8), 085302 (2011).</li><li>Choi, Y. -. M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Integration+and+Electrical+Properties+of+Carbon+Nanotube+Array+for+Interconnect+Applications.">Integration and Electrical Properties of Carbon Nanotube Array for Interconnect Applications.</a> Proceedings of the Sixth IEEE Conference on Nanotechnology. , 262-265 (2006).</li><li>Dijon, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Ultra-high+density+Carbon+Nanotubes+on+Al-Cu+for+advanced+Vias.">Ultra-high density Carbon Nanotubes on Al-Cu for advanced Vias.</a> Technical digest of the IEEE International Electron Devices Meeting. , 33-34 (2010).</li><li>Kreupl, F., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Carbon+nanotubes+in+interconnect+applications.">Carbon nanotubes in interconnect applications.</a> Microelectron. Eng. 64 (1-4), 399-408 (2002).</li><li>Vereecke, B., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Characterization+of+carbon+nanotube+based+vertical+interconnects.">Characterization of carbon nanotube based vertical interconnects.</a> Extended Abstracts of the 2012 International Conference on Solid State Devices and Materials. , 648-649 (2012).</li><li>Vollebregt, S., Ishihara, R., Derakhshandeh, J., vander Cingel, J., Schellevis, H., Beenakker, C. I. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Integrating+low+temperature+aligned+carbon+nanotubes+as+vertical+interconnects+in+Si+technology.">Integrating low temperature aligned carbon nanotubes as vertical interconnects in Si technology.</a> Proceedings of the 11th IEEE Conference on Nanotechnology. , 985-990 (2011).</li><li>Yokoyama, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electrical+Properties+of+Carbon+Nanotubes+Grown+at+a+Low+Temperature+for+Use+as+Interconnects.">Electrical Properties of Carbon Nanotubes Grown at a Low Temperature for Use as Interconnects.</a> Jpn J. App. Phys. 47 (4), 1985-1990 (2008).</li><li>Van der Veen, M. H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electrical+Improvement+of+CNT+Contacts+with+Cu+Damascene+Top+Metallization.">Electrical Improvement of CNT Contacts with Cu Damascene Top Metallization.</a> Proceedings of the IEEE International Interconnect Technology Conference. , 193-195 (2013).</li><li>Istratov, A. A., Hieslmair, H., Weber, E. R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Iron+contamination+in+silicon+technology.">Iron contamination in silicon technology.</a> Appl. Phys. A. 70, 489-534 (2000).</li><li>Vollebregt, S., Tichelaar, F. D., Schellevis, H., Beenakker, C. I. M., Ishihara, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Carbon+nanotube+vertical+interconnects+fabricated+at+temperatures+as+low+as+350+&#176;C.">Carbon nanotube vertical interconnects fabricated at temperatures as low as 350 &#176;C.</a> 71, 249-256 (2014).</li><li>Kikkawa, T., Inoue, K., Imai, K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Cobalt+silicide+technology.">Cobalt silicide technology.</a> Silicide Technology for Integrated Circuits. , 77-94 (2004).</li><li>Vollebregt, S., Ishihara, R., Tichelaar, F. D., Hou, Y., Beenakker, C. I. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Influence+of+the+growth+temperature+on+the+first+and+second-order+Raman+band+ratios+and+widths+of+carbon+nanotubes+and+fibers.">Influence of the growth temperature on the first and second-order Raman band ratios and widths of carbon nanotubes and fibers.</a> Carbon. 50 (10), 3542-3554 (2012).</li><li>Lim, S. C., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Contact+resistance+between+metal+and+carbon+nanotube+interconnects:+Effect+of+work+function+and+wettability.">Contact resistance between metal and carbon nanotube interconnects: Effect of work function and wettability.</a> Appl. Phys. Lett. 95 (26), 264103 (2009).</li><li>Awano, Y., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Carbon+nanotube+via+interconnect+technologies:+size-classified+catalyst+nanoparticles+and+low-resistance+ohmic+contact+formation.">Carbon nanotube via interconnect technologies: size-classified catalyst nanoparticles and low-resistance ohmic contact formation.</a> Phys. Status Solidi (a). 203 (14), 3611-3616 (2006).</li><li>Van der Veen, M. H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electrical+characterization+of+CNT+contacts+with+Cu+Damascene+top+contact.">Electrical characterization of CNT contacts with Cu Damascene top contact.</a> Microelectron. Eng. 106, 106-111 (2012).</li><li>Horibe, M., Nihei, M., Kondo, D., Kawabata, A., Awano, Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Mechanical+Polishing+Technique+for+Carbon+Nanotube+Interconnects+in+ULSIs.">Mechanical Polishing Technique for Carbon Nanotube Interconnects in ULSIs.</a> Jpn J. App. Phys. 43 (9A), 6499-6502 (2004).</li><li>Vollebregt, S., Chiaramonti, A. N., Ishihara, R., Schellevis, H., Beenakker, C. I. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Contact+resistance+of+low-temperature+carbon+nanotube+vertical+interconnects.">Contact resistance of low-temperature carbon nanotube vertical interconnects.</a> Proceedings of the 12th IEEE Conference on Nanotechnology. , 424-428 (2012).</li><li>Fiorentino, G., Vollebregt, S., Tichelaar, F. D., Ishihara, R., Sarro, P. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Impact+of+the+atomic+layer+deposition+precursors+diffusion+on+solid-state+carbon+nanotube+based+supercapacitors+performances.">Impact of the atomic layer deposition precursors diffusion on solid-state carbon nanotube based supercapacitors performances.</a> Nanotechnology. 26 (6), 064002 (2015).</li></ol>

The authors have nothing to disclose.

Figura 1 mostra una visione schematica della struttura fabbricata in questo lavoro, e che è stato utilizzato per le misurazioni della sonda 4 punti. Poiché il potenziale è misurata mediante sonde trasportano nessuna corrente, l&#39;esatta caduta di potenziale (V -V H L) sul fascio CNT centrale e suoi contatti al metallo può essere misurata. Diametro maggiore CNT fasci vengono utilizzati per contattare lo strato TiN fondo dalle piazzole di contatto, al fine di ridurre la resistenza totale ...

Il rame e tungsteno, i metalli che vengono attualmente utilizzati per le interconnessioni nella tecnologia state-of-the-art molto su larga scala di integrazione (VLSI), si avvicinano i loro limiti fisici in termini di affidabilità e di conducibilità elettrica 1. Mentre transistori demoltiplicazione generalmente migliora le loro prestazioni, in realtà aumenta la resistenza e la densità di corrente delle interconnessioni. Ciò ha provocato interconnessioni che dominano il circuito integrato (IC) prestazioni in termini di ritardo e consumo energetico 2. I nanotubi di carbonio (CNT) sono state proposte come alternativa per Cu e W metallizzazione, soprattutto per le interconnessioni verticali (vias) come CNT possono state facilmente coltivate verticale 3. CNT hanno dimostrato di avere un&#39;ottima affidabilità elettrica, permettendo una fino a 1.000 volte superiore densità di corrente di Cu 4. Inoltre, CNT non soffrono di superficie e grano dispersione di confine, che è in aumento il resistivity di Cu su scala nanometrica 5. Infine, CNT hanno dimostrato di essere ottimi conduttori termici 6, che possono aiutare nella gestione termica in chips VLSI. Per successo dell&#39;integrazione dei CNT nella tecnologia VLSI, è importante che i processi di crescita del CNT è reso compatibile con fabbricazione di semiconduttori. Ciò richiede la crescita bassa temperatura di CNT (&lt;400 ° C) utilizzando materiali e attrezzature che sono considerati compatibili e scalabile per la produzione su larga scala. Mentre molti esempi di vias prova CNT sono state dimostrate in letteratura 7,8,9,10,11,12,13,14, la maggior parte di questi utilizzano Fe come catalizzatore che è considerato come contaminante in IC produzione di 15. Inoltre, la temperatura di crescita utilizzato in molte di queste opere è molto superiore al limite superiore di 400 ° C. Preferibilmente CNT dovrebbe anche essere coltivata inferiore a 350 ° C, al fine di consentire l&#39;integrazione con i moderni dielettrici low-kappa o flessibilesubstrati. Qui vi presentiamo un metodo scalabile per la crescita di CNT a temperature fino a 350 ° C utilizzando come catalizzatore Co 16. Questo metodo è di interesse per fabbricare differenti strutture elettriche, rappresentati allineati verticalmente CNT in circuiti integrati, che vanno da interconnessione e elettrodi di super-condensatori e dispositivi di emissione di campo. Il catalizzatore di metallo Co è spesso usato in IC di produzione per la fabbricazione di siliciuro di 17, mentre TiN è un materiale barriera spesso usato 7. Inoltre, dimostriamo un processo per la fabbricazione di vias prova CNT mentre solo utilizzando tecniche di produzione di semiconduttori standard. Con questo, vias prova CNT sono fabbricati, ispezionato da microscopia elettronica a scansione (SEM) e spettroscopia Raman, ed elettricamente caratterizzata.

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="905">
	<colgroup>
		<col />
		<col />
		<col />
		<col />
	</colgroup>
	<tbody>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Materials</td>
			<td style="width:188px;">Company</td>
			<td style="width:119px;">Catalog Number</td>
			<td style="width:291px;">Comments/Description</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Si (100) wafer 4&#34;</td>
			<td style="width:188px;">International Wafer Service</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td>Resisitivity: 2-5 m&#937;-cm, thickness: 525 &#181;m&#160;</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Ti-sputtertarget (99.995 % purity)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Al (1% Si)-sputtertarget (99.999 % purity)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Co (99.95 % purity)</td>
			<td style="width:188px;">Kurt J. Lesker</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Chemicals</td>
			<td style="width:188px;">Company</td>
			<td style="width:119px;">Catalog Number</td>
			<td>Comments/Description</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">SPR3012 positive photoresist</td>
			<td style="width:188px;">Dow Electronic Materials</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">MF-322 developer</td>
			<td style="width:188px;">Dow Electronic Materials</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">HNO3 (99.9 %)</td>
			<td style="width:188px;">KMG Ultra Pure Chemicals</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">HNO3 (69.5%)</td>
			<td style="width:188px;">KMG Ultra Pure Chemicals</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">HF 0.55%</td>
			<td style="width:188px;">Honeywell</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Tetrahydrofuran</td>
			<td style="width:188px;">JT Baker</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Acetone</td>
			<td style="width:188px;">Sigma-Aldrich</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">ECI3027 positive photoresist</td>
			<td style="width:188px;">AZ</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Tetraethyl orthosilicate (TEOS)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Gasses</td>
			<td style="width:188px;">Company</td>
			<td style="width:119px;">Catalog Number</td>
			<td>Comments/Description</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">N2 (99.9990%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">O2 (99.9999%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">CF4 (99.9970%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">CL2 (99.9900%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">HBr (99.9950%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Ar (99.9990%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">C2F6 (99.9990%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">CHF3 (99.9950%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">H2 (99.9950%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">C2H2 (99.6000%)</td>
			<td style="width:188px;">Praxair</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Equipment</td>
			<td style="width:188px;">Company</td>
			<td style="width:119px;">Catalog Number</td>
			<td>Comments/Description</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">EVG 120 coater/developer</td>
			<td style="width:188px;">EVG</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">ASML PAS5500/80 waferstepper</td>
			<td style="width:188px;">ASML</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">SPTS &#937;mega 201 plasma etcher</td>
			<td style="width:188px;">SPTS</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td>Used for Si and metal etching</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">SPTS &#931;igma sputter coater</td>
			<td style="width:188px;">SPTS</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Novellus Concept One PECVD</td>
			<td style="width:188px;">LAM</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Drytek 384T plasma etcher</td>
			<td style="width:188px;">LAM</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td>Used for oxide etching</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">CHA Solution e-beam evaporator</td>
			<td style="width:188px;">CHA</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">AIXTRON BlackMagic Pro CVD tool</td>
			<td style="width:188px;">AIXTRON</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td>Carbon nanotube growth</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Philips XL50 scanning electron microscope</td>
			<td style="width:188px;">FEI</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Tepla 300</td>
			<td style="width:188px;">PVA TePla</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td>Resist plasma stripper</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Avenger rinser dryer</td>
			<td style="width:188px;">Microporcess Technologies</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Leitz MPV-SP reflecometer</td>
			<td style="width:188px;">Leitz</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Renishaw inVia Raman spectroscope</td>
			<td style="width:188px;">Renishaw</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Agilent 4156C parameter spectrum analyzer</td>
			<td style="width:188px;">Agilent</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:307px;">Cascade Microtech probe station</td>
			<td style="width:188px;">Cascade Microtech</td>
			<td style="width:119px;"></td>
			<td></td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

fabrication of low temperature carbon nanotube vertical interconnects compatible with semiconductor technology

We demonstrate a method for the low temperature growth (350 &#176;C) of vertically-aligned carbon nanotubes (CNT) bundles on electrically conductive thin-films. Due to the low growth temperature, the process allows integration with modern low-&#954; dielectrics and some flexible substrates. The process is compatible with standard semiconductor fabrication, and a method for the fabrication of electrical 4-point probe test structures for vertical interconnect test structures is presented. Using scanning electron microscopy the morphology of the CNT bundles is investigated, which demonstrates vertical alignment of the CNT and can be used to tune the CNT growth time. With Raman spectroscopy the crystallinity of the CNT is investigated. It was found that the CNT have many defects, due to the low growth temperature. The electrical current-voltage measurements of the test vertical interconnects displays a linear response, indicating good ohmic contact was achieved between the CNT bundle and the top and bottom metal electrodes. The obtained resistivities of the CNT bundle are among the average values in the literature, while a record-low CNT growth temperature was used.

Il disegno della struttura misura utilizzata in questo lavoro può essere trovato in Figura 1. Utilizzando una tale struttura la misurazione della resistenza fascio CNT e le resistenze di contatto metallo-CNT può essere determinato con precisione, come sonde e fili resistenze sono aggirate. La resistenza del fascio è una misura per la qualità e la densità del fascio CNT. Per determinare i fasci resistenza di contatto di lunghezza diversa devono essere misurati. Una tipic...

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Fabrication of Low Temperature Carbon Nanotube Vertical Interconnects Compatible with Semiconductor Technology

A method for the growth of low temperature vertically-aligned carbon nanotubes, and the subsequent fabrication of vertical interconnect electrical test structures using semiconductor fabrication is presented.

Fabbricazione di bassa temperatura Nanotubi di carbonio interconnessioni verticali Compatibile con la tecnologia Semiconductor

We demonstrate a method for the low temperature growth (350 &#176;C) of vertically-aligned carbon nanotubes (CNT) bundles on electrically conductive ...

fabrication-low-temperature-carbon-nanotube-vertical-interconnects

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Engineering

7.6K Views.  Delft University of Technology. A method for the growth of low temperature vertically-aligned carbon nanotubes, and the subsequent fabrication of vertical interconnect electrical test structures using semiconductor fabrication is presented.