Autore in primo piano: Introduzione alla microscopia a forza atomica con sonda attiva con array a sbalzo a quattro paralleli

La microscopia a scansione di sonda basata su nuove sonde di sistema micro elettromeccanico è chiamata cantilever attivo. I cantilever con azionamento e rilevamento integrati offrono diversi vantaggi rispetto ai cantilever passivi, che si basano sull'eccitazione piezoelettrica e sulla misurazione della deflessione ottica del fascio. Lo sviluppo più recente in questo campo è la realizzazione di array di cantilever attivi per l'imaging SPM parallelo ad alto rendimento.

Le matrici di cantilever attivi utilizzano sensori piezoresistivi integrati per offrire una sensibilità paragonabile ai metodi di lettura ottica senza limiti di diffrazione per consentire sonde AFM più piccole, più morbide e più compatte. I risultati di questa tecnica hanno aperto la strada al funzionamento e alla costruzione di microscopi a forza atomica ad alto rendimento utilizzando elettronica multicanale ad alta velocità. I progressi in questa tecnica possono facilitare il funzionamento più rapido e affidabile di sistemi a sbalzo attivi massicciamente paralleli in futuro.