JoVE Logo

Oturum Aç

Bu içeriği görüntülemek için JoVE aboneliği gereklidir. Oturum açın veya ücretsiz deneme sürümünü başlatın.

Bu Makalede

  • Özet
  • Özet
  • Giriş
  • Protokol
  • Sonuçlar
  • Tartışmalar
  • Açıklamalar
  • Teşekkürler
  • Malzemeler
  • Referanslar
  • Yeniden Basımlar ve İzinler

Özet

This experimental protocol describes how atomic force microscopy can be used to measure hardness at the true nanometer scale and to detect single atomistic plasticity events.

Özet

In this work, a combination of amplitude-modulated non-contact atomic force microscopy and atomic force spectroscopy is applied for instrumented hardness measurements on an Au(111) surface with atomistic resolution of single plasticity events. A careful experimental procedure is described that includes the force sensor selection, its calibration, the calibration of the cantilever deflection detection system, and the minimization of instrumental drift for accurate and reproducible force-distance measurements. Also, a method for the data analysis is presented that allows the extraction of force-penetration curves from recorded force-distance curves. A typical curve displays a clear elastic deformation regime up to the first plasticity event, or pop-in, with a length in the range of one to two Burger's vectors. Later plasticity events exhibit the same magnitude. The work of plasticity is further extracted from the measurements. Finally, the hardness is determined in combination with the indentation curve using non-contact atomic force microscopy images of the remaining indents.

Giriş

For the last 150 years, hardness values have been used to characterize the mechanical behavior of materials and to predict their performance under various loading conditions. The hardness of a material describes the resistance of its surface to the penetration of a harder indenter. For metallic materials, the hardness relates to resistance to plastic flow.

Although the implementation of hardness testing has proven to be relatively easy, the yielded results have long been rather empirical, making them unable to describe the intrinsic properties of the investigated material. The empirical nature of hardness testing results has been a consequence of the use of various indenter geometries, each of which has a different established hardness scale. However, all empirical hardness scales, such as the Brinell hardness (HB) test for spherical indenters and the Vickers (HV) and Knoop (HK) hardness tests for different types of four-sided pyramids, have one thing in common: the hardness number is determined from the ratio of the applied load to the developed area of the remaining indent. In an attempt to relate the hardness of metals to their fundamental mechanical properties, the hardness measured with a spherical indenter has been defined as the ratio of the applied load to the projected area of the remaining indent. This hardness value, also known as the Meyer's hardness (H), is equal to the mean contact pressure and directly relates to the yield strength of non-work-hardening metals1.

Hardness testing has long been limited to the macro-scale, in which case the sizes of indents have been measured by optical means. The development of instrumented indentation, where force-displacement curves are recorded, has been recognized as a valuable alternative for determining the hardness of a material, although the size of the remaining indent may be too small to be accurately imaged. In this case, the projected area of the indent is calculated from the tip displacement according to a so-called indenter-area function2. Due to this development, the analysis of the curvature of force-displacement curves and of the occurrence of distinct plasticity events in the shape of pop-ins is now widely used to study the mechanisms of plastic deformation at the micrometer scale, such as by means of nanoindentation3.

It is well accepted that the carriers of plastic deformation in metals, i.e., dislocations, operate at the nanometer scale. To understand their modes of operation at the atomic level, new experimental techniques with atomic resolution are needed. Initial investigations of atomistic plasticity events at the interfaces between nanometer-sized single asperities and single crystalline Au surfaces of different orientations have been carried out by interfacial force microscopy (IFM)4, 5. Atomic force microscopy (AFM) indentation has been applied to observe the nucleation and gliding of single dislocations in KBr(100) single crystals6, Cu(100)7, and Au(111)8, 9. There, atomistic plasticity events were observed in the shape of pop-ins, with lengths in the range of 1 Å. AFM indentation has also been used to measure the nano-hardness and -elasticity of gold nano-island grown on mica10. In this work, the nano-hardness was found to be smaller than the bulk value and was observed to depend linearly on the indentation area. Also, a detailed measurement protocol has been proposed to determine the hardness of hard surfaces, such as fused quartz and silicon, by AFM indentation with a diamond-tipped sapphire cantilever11. In particular, this method takes into account the non-linearity of the photo-sensitive deflection detectors for large cantilever deflection12. More recently, AFM indentation and non-contact AFM imaging have been combined to quantitatively determine the hardness and the fundamental mechanisms of plastic deformation of a Pt(111) single crystalline surface and Pt-based metallic glass13. For Pt(111), plastic deformation mechanisms at the nanometer scale were found to be consistent with the discrete mechanisms established for larger scales. Further, the nanometer-scale plastic deformation of the metallic glass was found to be not discrete, but rather continuous and highly localized around the indenting tip. These results revealed a lower size limit for metallic glasses, below which shear transformation mechanisms are not activated by indentation. AFM indentation has also been used to determine the hardness values of biological samples (such as collagen fibrils)14, polymers15, and colloidal crystals16.

In the present work, a careful experimental procedure is described that includes the force sensor selection, its calibration, the calibration of the cantilever deflection detection system, and the minimization of instrumental drift for accurate and reproducible force-distance measurements. Also, a method for the data analysis is presented that allows the extraction of force-penetration curves from recorded force-distance curves. Further representative results are shown and discussed in the light of recent findings in the field of plastic deformation of small volumes.

For this experiment, an atomic force microscope (AFM) was used. The cornerstone of an AFM is its micro-fabricated force sensor (usually a cantilever beam), with a sharp tip at the end whose radius is in the range of several nanometers. In the particular configuration of the instrument used for this experiment, the cantilever is mounted onto a piezo-electric z-scanner, while the sample to be investigated is mounted onto a piezo-electric x/y-scanner. During AFM imaging, the force sensor tip is scanned over a sample to register interaction forces with the sample surface that result in a deflection of the cantilever according to Hooke's law. The static or dynamic deflection of the cantilever can be measured with an optical beam deflection detector, consisting of a laser diode, a set of mirrors, and a photodiode that converts the cantilever deflection into a voltage. During imaging, the signal at the photodiode is controlled by a feedback loop so as to keep the interaction forces at the sample surface; this results in adjustments of the z-scanner position, which are recorded and displayed as a topography image.

Prerequisites for the experiment described below are that the piezo-electric scanners of the atomic force microscope are well-calibrated and that the instrument stays in the laboratory at a constant temperature and humidity level. The reader should be aware that, depending on the atomic force microscope model, some of the experimental procedure steps may have to be modified. In particular, all measurements are performed after setting the scanners' ranges to "small"; this function allows for the reduction of the x/y-scanner range to 5 x 5 µm² and the z-scanner range to 4 µm, which ensures a resolution at small scales. This function is not available on all commercial AFM and is not mentioned in the remainder of the text.

For data analysis, the use of the free SPM data analysis software Gwyddion17 and the Matlab software package18 are recommended.

This protocol gives a description of the experimental procedure to be followed in order to perform instrumented hardness measurements by AFM. Since the handling of different commercial AFMs may differ from one model to the other, the reader should refer to the manual provided by the AFM manufacturer for detailed setting procedures and software information. In the following text, in order to reproduce the described experiment, it is assumed that the reader is familiar with the handling of the particular AFM used here.

Protokol

1. Enstrümantal Kurulum ve Kalibrasyon

  1. Enstrümantal kurulum
    1. 0,1 ≥ 180 kHz, bir kalite faktörü Q ≥ 300 ve bükülme sertliği k ≥ 40 N / m f ilk serbest rezonans frekansı ile tipi DT-NCLR veya CDT-NCLR bir sert elmas kaplı konsol kullanın.
    2. AFM üreticisi tarafından sağlanan bir sıkıştırma tutucu üzerine seçilen konsol monte edin. uzun eksen AFM hızlı tarama yönüne dik olacak şekilde konsol yerleştirmek için özel özen gösterin. Alternatif olarak, iki bileşenli epoksi yapıştırıcı kullanarak AFM üreticisi tarafından sağlanan bir konsol tutucu üzerine konsol tutkal.
    3. AFM kafasına üzerine konsol tutucu monte edin ve AFM konsol üzerinde durulması AFM sistemi ile normalde mevcut optik mikroskop kullanıyoruz. konsol uzun ekseni hızlı tarama yönüne dik olduğunu iki kere kontrol edin. Değilse, geri dönmekBölüm 1.1.2.
    4. bu konsolun sonunda yansır ve böylece lazer ışını aynı hizaya getirin. fotodiyot gerilim toplamı Monitör ve toplam sinyalini en üst düzeye çıkarmak için bir ince ayar yapmak. Tipik toplamı sinyal değerleri 2 V aralığında
    5. düşey ve yatay değiştirmesine karşılık gelen gerilimleri neredeyse sıfır fotodiyot, merkezine yansıyan lazer nokta getirmek amacıyla aynanın yatay ve dikey eğim açıları ayarlayın.
  2. ayarlama
    1. Konsolun 0,1 f ilk serbest bükülme rezonans belirlemek için bir frekans taraması gerçekleştirin.
    2. 19'a göre hesaplanan dirsekli k bükülme sertliğini belirlemek
      (1) figure-protocol-1657
      E, Young oran olduğu Cantil genişliği W, L, konsol uzunluğuŞimdiye kadar, ve t kalınlığının olduğunu. Bu amaçla, daha iyi doğruluk için optik mikroskop ya da taramalı elektron mikroskobu ile konsol uzunluğu ve genişliği ölçün. Göre, 0,1 f ilk serbest bükülme rezonans frekansından konsolun kalınlığını hesaplamak
      (2) figure-protocol-2110
      burada ρ kütle yoğunluğudur.
    3. Özellikle konsol türü için fotodiyot duyarlılık varsayılan değeri seçin AFM kurmak menüsünde deney için kullanılacak. Yaklaşım butonuna tıklayarak 10 nN bir yük F referans numune ile temas konsol ucu getir n =.
    4. AFM yazılımı kuvvet spektroskopisi menüsünü açın ve 50 nm ve 0.3 mm / saniyeye z-tarayıcı geri çekilme / uzantısı z-tarayıcının göreceli geri çekilmesini ile uzantısı ayarlayın. Böylece kuvvet-mesafe eğrisi kayıt olacak yapıyoruzaklıkta numune yüzeyinden ve daha sonra aynı mesafe yaklaşım ve geri çekme dizisi, 50 nm'ye kadar, Z-tarayıcı bir geri çekme ilk oluşmaktadır.
    5. numune deformasyonu etkileri önlemek için, bu tür nano kristalin elmas veya safir gibi pürüzsüz ve uyumlu olmayan bir yüzeye 1.2.4 önerilen grubu parametreleri ile bir güç bir mesafe eğrisi kaydedilir. Bunu yapmak için AFM yazılım kuvvet spektroskopisi menüsünde acquire butonuna tıklayın.
    6. AFM yazılım kalibrasyon menüsünde, bir lineer fonksiyonu ile kuvvet-mesafe eğrisi itici kısmını takın. Uydurma hattının ters eğim fotodiyot duyarlılık S karşılık gelir. Yürütmek Kalibrasyon düğmesini tıklayarak AFM yazılım kalibrasyon menüsünde cihaz yazılımının varsayılan değerine belirlenen değeri değiştirin.

2. Numune Hazırlama

Not: thi ölçülen numunedeneyiyle fiziksel buhar çöktürme sayesinde mika üzerinde büyütülmüş 100 nm-kalınlıkta, atomik olarak pürüzsüz Au (111) ince bir film oluşur.

  1. Çift taraflı C bant vasıtası ile cihaz üreticisi tarafından sağlanan manyetik bir numune tutucu üzerine örnek monte edin. Karbon bant dinlenmek edelim amacıyla ölçümler sırasında numune sürüklenmesini önlemek için, ölçümlerden önce örnek bir gün takın. Alternatif olarak, genellikle birkaç dakika içinde kurur gümüş boya ile tutucuya örnek monte edin.
  2. X / Y tarayıcı üzerine manyetik örnek tutucu monte edin.

3. Ölçüm Prosedürü

  1. Off-rezonans ve bu değerler otomatik olarak bu özel konsol için cihaz yazılımı tarafından ayarlandığını A = 20 nm Not at salınım genliği (bu deney f = 190,67 kHz olarak) hafif salınım frekansı ayarlayın. Bir ayar noktası = 5 nm manuel salınım ayar noktasını ayarlayın.
  2. ÇekmekAFM adım motor kullanılarak numune yüzeyine doğru konsol. kuvvet sensörü numune yüzeyi ile çarpışmak olmadığından emin olun. kaba yaklaşma sırasında odak konsol tutmak ve örnek yüzeyi mükemmel odakta önce kaba bir yaklaşım durdurun.
  3. Otomatik yaklaşma butonuna basarak kuvvet sensörü yaklaşmaktadır. salınım genliği ayarlanan noktaya ulaştığında, uç örnek yüzeyinin topografya taramaya hazır.
  4. 5 x 5 ila 1 x 1 μm² değişen alanlarda topografya görüntüleri bir dizi kaydedin (varsa, x / y-tarayıcı eğerek topografya sinyalinin eğimini ayarlamak). Aynı bölgede art arda görüntüler sürüklenme herhangi bir işaret sergilemek olmadığını ve z-tarayıcı pozisyonu neredeyse sabit kalır emin olun. Bu durum söz konusu değilse sistem stabilize oluncaya kadar, görüntüleme devam edin.
  5. Sistem stabilize ve pürüzsüz 1 x 1 μm² alanı tespit edildikten sonra, f geriorce geri çekme düğmesine tıklayarak numune yüzeyinden birkaç mikrometre sensör.
  6. Alet menüsünde kuvvet spektroskopisi modunu seçin ve 10 nm kuvvet set-noktası ile, önceden seçilmiş 1 x 1 μm² alanının ortasında kuvvet sensörü hareket ettirin. o sabit kalana kadar z-tarayıcının pozisyonunu izlemek.
  7. merkez önceden seçilmiş 1 x 1 μm² alanının merkezine tekabül puan 2 x 2 ızgara seçin. 500 nm'de iki sonraki komşu nokta arasındaki mesafeyi ayarlayın.
  8. 300 nm / sn arasında bir hızla 0 150 nm arasında değişir göre tarayıcı bir mesafede bulunan ve aynı uzaklık boyunca aynı hızda geri çekilmesi için. Numune yüzeyine ilişkin konsolun eğim açısını göz önüne alındığında, φ eğim açısı 20 olan bir dikey tarayıcı uzantısı Z sırasında tan φ × Z yanal tarayıcıyı hareket ettirerek bir eğim düzeltme uygulamak.
    NOT: Bir kaç instruments kendi kuvvet spektroskopisi veya girinti modunda konsol tilt hesap; bu çalışmada kullanılan AFM için geçerli.
  9. AFM girinti veri alma başlamak için cihaz yazılımı start düğmesine basın.
  10. AFM girinti ölçümleri tamamlandıktan sonra, birkaç mikrometre uzakta numune yüzeyinden kuvvet sensörü geri çekin.
  11. enstrüman yazılım menüsünde temassız AFM modu görüntüleme seçin ve Bölüm 3.1 ve 3.2 açıklanan prosedürü tekrarlayın.
  12. yani girintiler tam konumunu bulmak için Bölüm 3.3 ile aynı 1 x 1 μm² yüzey alanı üzerinde bir tarama gerçekleştirin. 500 X 500 nm² yüzey alanı üzerine, başka bir yüzey tarama daha fazla ayrıntı görüntüsü kalan girintileri gerçekleştirilebilir.

4. Veri Analizi

  1. Görüntü işleme
    1. hızlı tarama dir çizgileri hizaya şekilde kaydedilmiş topografya görüntüleri işlemekmedyan farka dayalı ection. Gwyddion yerleşik işlevini kullanın.
  2. Yansıtılan parkı Gwyddion bir girinti analizi fonksiyonunu kullanarak girintiler bir p hesaplayın.
  3. Gwyddion ucu analizi işlevini kullanarak girintiler topografyası görüntüleri AFM ucu şeklini tahmin edin. Sonra ucu şekli görüntüleri ortalama ve ortalama uç şekli yarım açılma açısı a'yı ölçün.
  4. Uç deplasman hesaplanması δ 13'e göre göre kuvvet-deplasman eğrileri içine kuvvet mesafe eğrileri dönüştürme
    (3) figure-protocol-7892
    burada Z göreli tarayıcı konumudur.
  5. Şimdi, ucu yerinden karşı kuvvet arsa. Nihai eğri, genellikle atomik plastisite olaylara karşılık gelen çok sayıda 100 um aralığında uzunluklara sahip olarak adlandırılan açılır bileşenleri gösterir. thes ilk kullanıne pop-ins el 4 δ elastik sınırında uç deplasman belirlemek için.
  6. Hertz fonksiyonu 21 kuvvet-deplasman eğrisi elastik kısmını takın.
    (4) figure-protocol-8432
    R ucu yarıçapı ve E '* tarafından verilen, elastisite azaltılmış modülü olan figure-protocol-8615 M s, t sırasıyla, numunenin ve ucu girinti modülü olmak. Bu durumda, uygun bir parametredir figure-protocol-8794 .
  7. Uygun fonksiyon ve deneysel eğri 21 arasındaki alansal farktan plastisite W plastisite çalışmalarını hesaplamak için plastisite rejimi içine uygun fonksiyon uzatın.
  8. 1'e göre olan 2 örnek sertliğini hesaplamak
    (5) figure-protocol-9159
    ve
    (6) figure-protocol-9246
    F n maksimum maksimal uygulanan yükü olduğu, p Kısım 4.2 hesaplanan girinti öngörülen bölge, α Bölüm 4.3'te hesaplanan ucun yarım açılış açısı olduğunu, δ El ilk plastisite de ucu deplasman olduğunu olay, ve δ max maksimal uç deplasman (Bölüm 4.4 bakınız) 'dir.

Sonuçlar

Bu çalışmada, konsol k eğilme sertliği geometrik kiriş teorisi 19 göre hesaplanmıştır. Bu çalışmada kullanılan özel elmas kaplı konsol için, k = 55,69 N / m bulundu. Biz elmas kaplama ihmal unutmayın; Elmas Kaplamanın kalınlığı (onun Young modülü silikon önemli ölçüde daha büyük olmasına rağmen) önemli ölçüde bükülme sertliğini artırmaz, böylece konsol kalınlığından daha küçük iki büyüklük, bir ve.

Tartışmalar

Bir yöntem olup, bir elmas kaplanmış AFM ucu olan bir Au (111) üzerinde, ince film yüzeyine girinti bir dizi gerçekleştirmek için sunulmuştur. Temassız AFM görüntüleme ve AFM girinti aynı kuvvet sensörü ile yapılmıştır. Temassız görüntüleme için şartlar 0,1 ≥ 180 kHz ve AFM çentiğe yüksek kalite faktörü Q ≥ 300 F yüksek bir ilk serbest rezonans frekansı olan, dikey kuvvet çeşitli mikro-newton aralığındadır uygulanacak ve yüksek bükülme s...

Açıklamalar

The authors have nothing to disclose.

Teşekkürler

A.C. is grateful to KoreaTech for financial support.

Malzemeler

NameCompanyCatalog NumberComments
AFM XE-100Park InstrumentsdiscontinuedAtomic force microscope
CDT-NCLRNanoSensorsCDT-NCLRConductive diamond coated non-contact lever
100 nm thick Au(111) thin film on MicaPhasis20020011atomically smooth gold thin film

Referanslar

  1. Tabor, D. . The hardness of metals. , (1951).
  2. Fischer-Cripps, A. C. . Nanoindentation. , (2004).
  3. Michalke, T. A., Houston, J. E. Dislocation Nucleation at Nano-Scale Mechanical Contacts. Acta Mater. 46 (2), 391-396 (1998).
  4. Kiely, J. D., Houston, J. E. Nanomechanical Properties of Au(111) (001), and (110) Surfaces. Phys. Rev. B. 57 (19), 12588 (1998).
  5. Kiely, J. D., Jarausch, K. F., Houston, J. E., Russell, P. E. Initial Stages of Yield in Nanoindentation. J. Mater. Res. 14 (19), 2219-2227 (1999).
  6. Egberts, P., Bennewitz, R. Atomic Scale Nanoindentation: Detection and Indentification of Single Glide Events in Three Dimensions by Force Microscopy. Nanotechnology. 22 (42), 425703-1-425703-9 (2011).
  7. Filleter, T., Bennewitz, R. Nanometer Scale Plasticity of Cu(100). Nanotechnology. 18 (4), 044004-1-044004-4 (2007).
  8. Asenjo, A., Jaafar, M., Carrasco, E., Rojo, J. M. Dislocation mechanisms in the first stage of plasticity of nanoindented Au(111) surfaces. Phys. Rev. B. 73 (7), 075431 (2006).
  9. Paul, W., Oliver, D., Miyahara, Y., Gruetter, P. Minimum threshold for incipient plasticity in the atomic-scale nanoindentation of Au(111). Phys. Rev. Lett. 110 (13), 135506 (2013).
  10. Kracke, B., Damaschke, B. Measurement of nanohardness and nanoelasticity of thin gold films with scanning force microscope. Appl. Phys. Lett. 77 (3), 361-363 (2000).
  11. Sansoz, F., Gang, T. A force-mapping method for quantitative hardness measurements by atomic force microscopy with diamond-tipped sapphire cantilevers. Ultramicroscopy. 111, 11-19 (2010).
  12. Silva, E. C. C. M., Van Vliet, K. J. Robust approach to maximize the range and accuracy of force application in atomic force microscopes with non-linear position-sensitive detectors. Nanotechnolgy. 17 (21), 5525-5529 (2006).
  13. Caron, A., Bennewitz, R. Lower Nanometer-Scale Size Limit for the Deformation of a Metallic Glass by Shear Transformations Revealed by Quantitative AFM Indentation. Beilstein J. Nanotechnol. 6, 1721-1732 (2015).
  14. Andriotis, O. G., et al. Nanomechanical assesment of human and murine collagen fibrils via atomic force microscopy cantilever-based nanoindentation. J. Mech. Behavior Biomed. Mater. 39, 9-26 (2014).
  15. Bischel, M. S., Vanlandingham, M. R., Eduljee, R. F., Gillespie, J. W., Schultz, J. M. On the use of nanoscale indentation with the AFM in the identification of phases in blends of linear low density polyethylene and high density polyethylene. J. Mater. Sci. 35 (1), 221-228 (2000).
  16. Zhang, L., Wang, W., Zheng, L., Wang, X., Yan, Q. Quantitative characterization of mechanical property of annealed monolayer colloidal crystal. Langmuir. 32 (2), 451-459 (2016).
  17. Nečas, D., Klapetek, P. Gwyddion: An open-source software for SPM data analysis. Cent. Eur. J. Phys. 10 (1), 181-188 (2012).
  18. Hahn, B. H., Valentine, D. T. . Essential Matlab for Engineers and Scientists. , (2013).
  19. Nonnenmacher, M., Greschner, J., Wolter, O., Kassing, R. Scanning Force Microscopy with Micromachined Silicon Sensors. J. Vac. Sci. Technol. B. 9 (2), 1358-1362 (1991).
  20. Cannara, R. J., Brukman, M. J., Carpick, R. W. Cantilever tilt compensation for variable-load atomic force microscopy. Rev. Sci. Instrum. 76 (5), 053706 (2005).
  21. Johnson, K. L. . Contact Mechanics. , (1985).
  22. Mohr, M., et al. Young's Modulus, Fracture Strength, and Poisson's Ratio of Nanocrystalline Diamond Films. J. Appl. Phys. 116 (12), 124308-1-124308-10 (2014).
  23. Arnault, J. C., Mosser, A., Zamfirescu, M., Pelletier, H. Elastic recovery measurements performed by atomic force microscopy and standard nanoindentation on a Co(10.1) monocrystal. J. Mater. Res. 17 (6), 1258-1265 (2002).
  24. Cao, Y., et al. Nanoindentation measurements of the mechanical properties of polycrystalline Au and Ag thin films on silicon substrates: Effect of grain size and film thickness. Mater. Sci. Eng. A. 457 (1-2), 232-240 (2006).
  25. Lilleodden, E. T., Nix, W. D. Microstructural length-scale effects in the nanoindentation behavior of thin gold films. Acta Mater. 54 (6), 1583-1593 (2006).
  26. Corcoran, S. G., Colton, R. J., Lilleodden, E. T., Gerberich, W. W. Anomalous plastic deformation at surfaces: Nanoindentation of gold single crystals. Phys. Rev. B. 55 (24), R16057 (1997).
  27. Van Vliet, K. J., Li, J., Zhu, T., Yip, S., Suresh, S. Quantifying the early stages of plasticity through nanoscale experiments and simulations. Phy. Rev. B. 67 (10), 104105 (2003).

Yeniden Basımlar ve İzinler

Bu JoVE makalesinin metnini veya resimlerini yeniden kullanma izni talebi

Izin talebi

Daha Fazla Makale Keşfet

M hendislikSay 117metallerplastisitek ksertlikgirintiatomik kuvvet mikroskopisi

This article has been published

Video Coming Soon

JoVE Logo

Gizlilik

Kullanım Şartları

İlkeler

Araştırma

Eğitim

JoVE Hakkında

Telif Hakkı © 2020 MyJove Corporation. Tüm hakları saklıdır