Fabrication de basse température de nanotubes de carbone interconnexions verticales Compatible avec la technologie des semiconducteurs
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09:20 min
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December 7th, 2015
DOI :
December 7th, 2015
•Chapitres dans cette vidéo
0:05
Title
0:46
Bottom Metal and Interlayer Dielectric Deposition
3:23
Catalyst Deposition and CNT Growth
5:07
Topside Metallization
7:17
Results: Characterization of Vertically-aligned Carbon Nanotubes
8:41
Conclusion
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