균일 한 두께의 Ge 전기 분무 증착

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08:38 min

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August 19th, 2016

DOI :

10.3791/54379-v

August 19th, 2016

•

Spencer Novak¹, Pao-Tai Lin²^,³, Cheng Li⁴, Nikolay Borodinov¹, Zhaohong Han⁵, Corentin Monmeyran⁵, Neil Patel⁵, Qingyang Du⁵, Marcin Malinowski⁴, Sasan Fathpour⁴, Chatdanai Lumdee⁴, Chi Xu⁴, Pieter G. Kik⁴, Weiwei Deng⁶, Juejun Hu⁷, Anuradha Agarwal⁷, Igor Luzinov¹, Kathleen Richardson⁴

¹Department of Materials Science and Engineering, Clemson University, ²Department of Materials Science and Engineering, Texas A&M University, ³Department of Electrical and Computer Engineering, Texas A&M University, ⁴College of Optics and Photonics, Center for Research and Education in Optics and Lasers (CREOL), University of Central Florida, ⁵Department of Materials Science and Engineering, Massachusetts Institute of Technology, ⁶Department of Mechanical Engineering, Virginia Polytechnic Institute, ⁷Microphotonics Center, Massachusetts Institute of Technology

요약

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microphotonics

이 비디오의 챕터

0:05

Title

0:45

Setting Up the Deposition Process

1:48

Electrospray Depostion of Chalcogenide Films

2:58

Characterization of Residual Solvent Removal of the Chalcogenide Films

4:10

Measurement of Chalcogenide Film Thickness

6:50

Results: Evaluation of Electrosprayed Film Properties

7:58

Conclusion

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